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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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IH-860PSIC日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)
產(chǎn)品介紹
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)
SiC 高溫離子注入機(jī)IH-860PSIC
這是配備高溫ESC的用于SiC量產(chǎn)的高能離子注入機(jī)。
特征
可自動(dòng)連續(xù)高溫處理注入
可注入高達(dá) 350keV 的單價(jià)離子和 700keV 的雙電荷離子
（可選支持高達(dá) 430keV 的單價(jià)離子和 860keV 的雙電荷離子）雙端站實(shí)現(xiàn)高吞吐量
（A系統(tǒng)4"高溫電調(diào)/B系統(tǒng)3"高溫電調(diào)、A系統(tǒng)6"高溫電調(diào)/B系統(tǒng)6"常溫電調(diào)等，規(guī)格可根據(jù)客戶需求訂做愿望）可進(jìn)行鏈條注射，減輕操作員負(fù)擔(dān)
緊湊型設(shè)計(jì)
從原型到批量生產(chǎn)，我們提供廣泛的支持。
目的
SiC用離子注入機(jī)
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