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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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SME-3500日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
| 參考價(jià): | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- SME-3500 產(chǎn)品型號(hào)
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訪問(wèn)次數(shù)：513更新時(shí)間：2024-11-25 14:41:55
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
產(chǎn)品介紹
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)
用于研究和開(kāi)發(fā)的中電流離子注入機(jī)SME-3500
中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機(jī)，非常適合大學(xué)的研發(fā)。
特征
最大晶圓尺寸為8英寸，配備可處理不規(guī)則形狀基板的壓板。
除了氣體源之外，固體蒸發(fā)源也可用于易于安全處理 B、P 和 As 離子的離子源。
高壓端子部分與量產(chǎn)設(shè)備配置相同，確保高可靠性。
規(guī)格
| 活力 | 30 至 200keV（可選 3 至 200keV） |
| 最大束流 | 11B+ 400μA（200keV) 31P+ 600μA（200keV) |
| 最小束流 | 150納安 |
| 離子種類(lèi) | B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他 |
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