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MM-3252LLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價: | ￥ 25330 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MM-3252L 產(chǎn)品型號
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：89更新時間：2025-03-26 17:12:13
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3252L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3252L
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設(shè)定的流量信號，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進(jìn)行流量的控制。
核心技術(shù)架構(gòu)
傳感系統(tǒng)：
熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細(xì)管式或旁路式設(shè)計，溫度分辨率達(dá)0.01℃
壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）
科里奧利式：直接質(zhì)量測量，精度可達(dá)±0.1%讀數(shù)
控制系統(tǒng)：
24位Σ-Δ ADC轉(zhuǎn)換器
數(shù)字PID算法（響應(yīng)時間<100ms）
支持Modbus RTU/Profibus DP通訊協(xié)議
閥體系統(tǒng)：
壓電瓷閥（響應(yīng)時間<10ms）
電磁比例閥（壽命>10?次循環(huán)）
金屬密封閥座（耐壓10MPa）
| 溫度 | 最下壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最小F.S. | 密封件 |
| 5～50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
技術(shù)發(fā)展趨勢
智能化升級：
集成AI預(yù)測性維護功能
5G遠(yuǎn)程監(jiān)控與參數(shù)優(yōu)化
微型化發(fā)展：
MEMS流量傳感器（芯片級集成）
適用于便攜式分析儀器
綠色制造：
無鉛焊接工藝
可再生材料應(yīng)用
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