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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
產品介紹
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3102S
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3102S
質量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業(yè)設備。作為現代工業(yè)自動化過程控制的核心組件，MFC通過將質量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實現對流體流量的高精度閉環(huán)控制，典型控制精度可達±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。
質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節(jié)控制閥的開度，以此進行流量的控制。
型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態(tài)響應<50ms）
鋰電材料燒結（N?/O?混合控制））
3. 制藥行業(yè)：
生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯控）
4. 科研實驗：
催化反應研究（多路氣體并行控制）
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
| 5~50℃ | 800Pa | 133kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 2SCCM | 30SCCM | Au |
技術發(fā)展趨勢
智能化升級：
集成AI預測性維護功能
5G遠程監(jiān)控與參數優(yōu)化
微型化發(fā)展：
MEMS流量傳感器（芯片級集成）
適用于便攜式分析儀器
多物理場耦合：
流量-溫度-壓力協同控制
適應超臨界流體等特殊工況
綠色制造：
無鉛焊接工藝
可再生材料應用
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