作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原有的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。
通過大范圍的溫度控制，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間，并且能夠靈活應(yīng)對未來的工藝擴(kuò)展。此外，在所有工藝中實(shí)施最佳的溫度控制，從而實(shí)現(xiàn)工藝耐受性的提高，并且通過延長部件的更換周期，幫助減少TCoO。
應(yīng)對的應(yīng)用例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子植入、外延生長等。

產(chǎn)品規(guī)格