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PRECESS普瑞賽思

普瑞賽思真空閥門

應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子/電池,電氣

PRECESS普瑞賽思高真空保護(hù)閘閥（V60系列）已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)百種要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其出色的可靠性。它們已成為DN 63-320 mm尺寸的任何高壓隔離要求的標(biāo)準(zhǔn)。

詳細(xì)介紹

PRECESS普瑞賽思高真空保護(hù)閘閥（V60系列）

V60高壓閘閥系列配備了VATLOCK技術(shù)，該技術(shù)是專門開(kāi)發(fā)的，可在閘門密封處提供可靠的密封而不會(huì)產(chǎn)生任何摩擦。VATLOCK機(jī)構(gòu)還可以防止閥門故障，這要?dú)w功于關(guān)閉端位置的機(jī)械鎖定。

憑借其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，V60系列滿足了可靠運(yùn)行的高壓閘閥的所有要求。V60的設(shè)計(jì)可在大量工藝循環(huán)中可靠運(yùn)行，為通用高壓閘閥樹(shù)立了標(biāo)準(zhǔn)。

該系列提供各種驅(qū)動(dòng)和法蘭連接設(shè)計(jì)選項(xiàng)，因此可以輕松集成到任何高壓系統(tǒng)中。各種特殊選項(xiàng)，如窗口和端口，可確保與應(yīng)用程序的最佳匹配。

V60高壓閘閥可采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)。閥門可由控制器控制，使閥門可在0.3秒或設(shè)定值內(nèi)關(guān)閉。電磁閥的標(biāo)準(zhǔn)電壓為24V DC，但可根據(jù)要求提供其他電壓。閥門位置由一個(gè)雙位指示器指示——兩個(gè)開(kāi)關(guān)分別用于“打開(kāi)"和“關(guān)閉"位置——帶轉(zhuǎn)換觸點(diǎn)。

法蘭連接器的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)是ISO-F、CF-F、ASA-L和JIS。可以集成客戶定制的帶和不帶水冷的法蘭。

特征

l在干式泵發(fā)生故障時(shí)，保護(hù)工藝環(huán)境免受向下流動(dòng)粉末的影響

l快速氣動(dòng)打開(kāi)和關(guān)閉小于0.3秒

l帶LCD顯示器的集成或獨(dú)立控制器

l機(jī)械鎖處于關(guān)閉位置

優(yōu)點(diǎn)

lDN63-630，帶FKM O型圈閘門密封

l提供ISO-F CF-F ASA-LP JIS法蘭

應(yīng)用

l半導(dǎo)體加工

l在要求苛刻的工藝中使用真空泵或腔室隔離

l蝕刻、CVD（MO、PE、HDP、LP）注入、濺射

l高顆粒物水平的納米技術(shù)工藝

l薄膜光伏板

PRECESS普瑞賽思高真空保護(hù)閘閥（V60系列）

技術(shù)參數(shù)

尺寸		DN63 to DN320
執(zhí)行器	氣動(dòng)	雙作用位置指示器
閥體材質(zhì)		不銹鋼
饋通		波紋管
標(biāo)準(zhǔn)法蘭		ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS
泄漏率	閥體	< 1 × 10-9 mbar l/s
泄漏率	閥座	< 1 × 10-9 mbar l/s
壓力范圍		1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)
壓差	In close direction	≤ 1.2bar
壓差	At opening	< 30mbar
循環(huán)至first使用		≥100,000
溫度	閥體	≤ 120 °C
溫度	閥門	≤ 120 °C
材質(zhì)	閥體、板	AlSI 304 (1.4301)
	軸	AlSI 304 (1.4301)
	波紋管	AISI 633(AM350)
密封	閥帽	FKM（Viton®）或根據(jù)要求
密封	閥門	FKM（Viton®）或根據(jù)要求
安裝位置		任意
電磁閥		24 VDC，2.5 W（其他應(yīng)要求）
位置指示器：觸點(diǎn)額定	電壓	≤50 VDC
	電流	0-80 mA
	功率	≤ 10 W
	連接器	D-Sub 9P Male
壓縮空氣連接		快速連接器O.D. 4 mm