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賽默飛電子顯微鏡

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TruePix EBSD開(kāi)啟晶體學(xué)表征的集成化未來(lái)

閱讀：27 發(fā)布時(shí)間：2025-4-14

電子背散射衍射（EBSD）技術(shù)是一種基于掃描電子顯微鏡的強(qiáng)大晶體學(xué)分析工具，可用于晶粒取向鑒定、相鑒定、晶界識(shí)別、織構(gòu)分析、應(yīng)力和應(yīng)變分析，晶粒大小和形態(tài)分析，動(dòng)態(tài)過(guò)程研究，三維晶體分析等。

現(xiàn)代EBSD技術(shù)在20世紀(jì)90年代初取得了商業(yè)化突破并成功進(jìn)入市場(chǎng)，經(jīng)過(guò)三十多年的發(fā)展，EBSD的廣泛應(yīng)用還面臨一些挑戰(zhàn)，包括工作流程復(fù)雜，分析敏感材料困難，需要有經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)人員參與等，為了應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)并使EBSD技術(shù)更加普及，賽默飛世爾科技重磅推出Thermo Scientific™ TruePix™ EBSD探測(cè)器，這是一款集高速與高靈敏度為一體的直接電子探測(cè)器。TruePix探測(cè)器與Apreo ChemiSEM掃描電子顯微鏡和TrueSight能譜儀工作流程無(wú)縫配合，一體化地實(shí)現(xiàn)形貌觀察、元素分析以及晶體學(xué)分析。

產(chǎn)品介紹

TruePix EBSD是一款搭配在Apreo ChemiSEM掃描電鏡上的混合像素直接電子探測(cè)器，直接電子探測(cè)器像素尺寸為256 x 256，TruePix探測(cè)器的發(fā)布實(shí)現(xiàn)了在同一個(gè)計(jì)算機(jī)平臺(tái)上進(jìn)行SEM、EDS和EBSD測(cè)試，無(wú)需外部電子束控制或電腦間的通訊連接，即可實(shí)現(xiàn)快速安全操作，最高可實(shí)現(xiàn)采集速度2000pps。

TruePix探測(cè)器采用了混合像素直接電子探測(cè)器, 由于直接電子探測(cè)器能夠直接記錄電子信號(hào)，而不需要中間的磷光屏或光學(xué)傳輸，從而減少了信號(hào)損失，因此具有更高的探測(cè)效率。

TruePix直接電子探測(cè)器

TruePix混合像素探測(cè)器由256x256像素點(diǎn)組成。每個(gè)像素點(diǎn)都有獨(dú)立的電路，且能進(jìn)行單電子計(jì)數(shù)，直接電子探測(cè)器相比傳統(tǒng)的背散射電子衍射儀有以下主要優(yōu)勢(shì)：

更高的探測(cè)效率和信噪比。直接電子探測(cè)器能夠直接記錄電子信號(hào)，而不需要中間的磷光屏或光學(xué)傳輸，避免了電子到光子轉(zhuǎn)換過(guò)程中的噪聲和信號(hào)損失，具有更高的探測(cè)效率和信噪比。

低電子劑量分析。由于直接電子探測(cè)器對(duì)信號(hào)的采集更靈敏，適用于低電子劑量下的樣品分析，特別是電子束敏感樣品的分析，同時(shí)EBSD空間分辨率也得到提升。

電子計(jì)數(shù)模式。用戶(hù)可在采集軟件中設(shè)置能夠被接收的電子能量閾值，也可讀取每個(gè)像素中的中位電子數(shù)。

集成一體化

此外，賽默飛推出的TruePix探測(cè)器的發(fā)布使得SEM與EBSD探測(cè)器、后期圖像處理軟件能整合在同一平臺(tái)，帶來(lái)更便捷的操作和更好的用戶(hù)體驗(yàn)。

TruePix 探測(cè)器的硬件、軟件與掃描電鏡集成，省去了不同電腦之間的通訊時(shí)間，縮短數(shù)據(jù)獲取時(shí)間。

由于TruePix EBSD與SEM整合，在不同的樣品工作距離和探頭距離下，它都能準(zhǔn)確識(shí)別掃描電鏡的工作條件，自動(dòng)進(jìn)行花樣中心校準(zhǔn)，從而省去了多余的校準(zhǔn)步驟，TruePix可以在電子槍開(kāi)啟后最短時(shí)間進(jìn)入工作狀態(tài)。

TruePix EBSD在不同的WD和DD下都有很高的標(biāo)定率

賽默飛提供EBSD樣品制備、EBSD采集、

數(shù)據(jù)處理一系列完整的工作流程

EBSD樣品制備的質(zhì)量直接影響數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確度和標(biāo)定率。EBSD花樣采集過(guò)程中，衍射信號(hào)來(lái)自樣品表面以下幾十納米的深度范圍，用于EBSD測(cè)試的樣品需表面平整、清潔且沒(méi)有殘余應(yīng)力，否則會(huì)影響衍射花樣的采集以及EBSD的后續(xù)分析。常見(jiàn)的用于EBSD樣品制備的方法有機(jī)械拋光、電解拋光、FIB樣品制備及氬離子拋光。其中氬離子拋光是一種樣品適用性高的方法，賽默飛世爾科技推出的CleanMill氬離子拋光儀能與Apreo ChemiSEM以及TruePix EBSD集成在一個(gè)工作流程中，即使對(duì)于空氣敏感樣品和電子束敏感樣品也能輕易解決其痛點(diǎn)。