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全新MFC產(chǎn)品5月20日與你相見

閱讀:2825      發(fā)布時間:2022-4-25
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青島芯笙近期推出多款氣體質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品,成功打通從MEMS芯片到流量檢測儀表和算法的全鏈條核心技術,成為青島市僅有的幾家掌握MEMS核心芯片技術的高科技企業(yè)之一。

隨著國家對國產(chǎn)儀器和半導體設備的重視和支持,國內(nèi)分析儀器產(chǎn)業(yè)、半導體裝備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)了快速發(fā)展。作為分析儀器和半導體裝備的核心部件,氣體質(zhì)量流量計/控制器目前仍以進口為主,國產(chǎn)化替代需求迫切。不同于傳統(tǒng)的差壓、渦街等原理的體積型流量計,MEMS氣體質(zhì)量流量計基于熱傳導原理對氣體質(zhì)量流量進行高精確測量,該類型產(chǎn)品不受溫度和壓力等環(huán)境參數(shù)影響。

青島芯笙S500系列氣體質(zhì)量流量控制器,具有*的氣體流道設計,可實現(xiàn)靈活的分流比配置,量程覆蓋1sccm~120slm,最小控制精度為0.1sccm,0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學信號方面,提供多種數(shù)字和模擬控制方式,并配備工業(yè)級顯示屏,方便客戶現(xiàn)場調(diào)試和配置。



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