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寶帝邀您共赴Semicon盛會，解鎖半導體應(yīng)用流體控制新方案
閱讀：226 發(fā)布時間：2025-3-19
SEMICON China 2025也已進入開幕倒計時狀態(tài)！作為全球半導體產(chǎn)業(yè)的年度盛事，今年的SEMICON China又將帶來哪些驚喜呢？今天，寶帝與您一起探索SEMICON China 2025的參觀攻略，為你揭開這場科技盛宴的神秘面紗！
展會將于2025年3月26至28日，在上海新國際博覽中心舉辦，展會將涵蓋半導體制造、封裝測試、設(shè)備材料等多個領(lǐng)域，寶帝誠邀您前來交流，一同探索半導體應(yīng)用中的流體控制技術(shù)！
用于刻蝕鍍膜冷卻工藝解決方案
Bürkert 參與的刻蝕鍍膜冷卻環(huán)節(jié)：反應(yīng)腔室、E-CHUCK、分子泵/真空泵、射頻電源等。
ESC Cooling
ESC 是刻蝕機中的核心部件，其冷卻系統(tǒng)至關(guān)重要，Bürkert 針對該工藝提供解決方案：
通過 2 組Burkert氣動閥的高頻開關(guān)控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環(huán)，以實現(xiàn)機臺的調(diào)溫目的。
通過2組Burkert電動閥的控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環(huán)，以實現(xiàn)機臺的無極調(diào)溫目的。
PCW Cooling
Bürkert 解決方案可用于控制 2-3 路 DI water，各支路數(shù)據(jù)通過工業(yè)以太網(wǎng)網(wǎng)關(guān)采集和交換，實現(xiàn)控制、監(jiān)控和診斷，以實現(xiàn)冷卻水的閉環(huán)控制。
測試分選機高效冷卻解決方案
測試分選機在高負荷運行時，發(fā)熱問題嚴重影響設(shè)備穩(wěn)定性和使用壽命。Bürkert 冷卻系統(tǒng)解決方案通過工業(yè)以太網(wǎng)通訊，實現(xiàn)采集和交換、控制、監(jiān)控和診斷，提升設(shè)備整體性能和效率，確保測試分選機穩(wěn)定運行。
如果您從事半導體相關(guān)行業(yè)，關(guān)注刻蝕鍍膜冷卻工藝和測試分選機的高效冷卻等半導體相關(guān)應(yīng)用，一定不要錯過寶帝在 Semicon 展會的精彩呈現(xiàn)！
3月26 - 28日，上海新國際博覽中心，寶帝與您不見不散E6-6670，攜手探索半導體領(lǐng)域工藝流程。
屆時寶帝攜手Bürkert系統(tǒng)解決方案及更多Bürkert展品亮相Semi展會敬請期待！