鎢燈絲掃描電鏡的工作原理：通過對電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)，在陽極作用下，處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過掃描線圈磁場的控制，電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號，經(jīng)探測器收集、放大器放大后，調(diào)制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測。
西努提供的日立全新一代大型SU3900鎢燈絲掃描電鏡采用超大的樣品倉和多接口設(shè)計(jì)，適合超大樣品的觀察（直徑300mm）以及多種分析功能的拓展。具有IFT燈絲監(jiān)控技術(shù)、全新的光鏡導(dǎo)航、集成的能譜以及報(bào)告導(dǎo)出等功能，使其操作也變得更簡單。
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