日立掃描電鏡是利用精細聚焦的電子束照射在樣品表面，電子束與樣品相互作用產(chǎn)生各種信號，其中包括二次電子、背散射電子、特征X射線等不同能量的光子，這些信號經(jīng)相應的探測器接收，用于研究各種材料的微觀形貌;配上能譜儀、波譜儀等附件，可對材料元素成分進行分析。
日立掃描電鏡的附件常見的是X射線能譜儀，在各種材料的分析中起著*的作用。
日立掃描電鏡結(jié)合能譜儀使用，能進行材料微區(qū)元素種類與含量的分析。其工作原理是:各種元素具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量E，能能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。
能譜定量分析的準確性與樣品的制樣過程，樣品的導電性，元素的含量以及元素的原子序數(shù)有關(guān)。因此，在定量分析的過程中既有一些原理上的誤差（數(shù)據(jù)庫及標準)，我們無法消除，也有一些人為因素產(chǎn)生的誤差(操作方法)，這些因素都會導致能譜定量不準確。
那么，掃描電鏡除了可以利用能譜分析能夠根據(jù)襯度變化判斷元素在不同位置的富集程度，還能判斷微量元素的分布。這里我還要交給大家一個小技巧：能譜使用前要校準，要使樣品平整，分析區(qū)域均質(zhì)、無污染，還要讓樣品導電性、導熱性良好。
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