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CFD系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

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更新時(shí)間：2025-04-25 21:00:08

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產(chǎn)品分類品牌分類

水質(zhì)分析儀系列: 污水處理設(shè)備水質(zhì)分析試劑耗材臭氧/消毒設(shè)備污水、飲用水、工業(yè)用水在線水質(zhì)重金屬分析儀便攜/臺式水質(zhì)儀器水文、水處理儀表耗材

氣體檢測儀: 氣體稀釋儀/空壓機(jī) 氣體報(bào)警器/監(jiān)測系統(tǒng) 氣體、酸霧、紅外熱像儀氮?dú)饽?、發(fā)生器、過濾膜氧/氫氣/熱導(dǎo)氣體煙氣尾氣、CO2、微站惡臭嗅辨熏蒸VOC熱值

環(huán)保節(jié)能/環(huán)境/氣象: 生物降解呼吸儀塑料崩解呼吸儀露點(diǎn)/溫濕度/水分/活度礦漿濃度儀離子風(fēng)機(jī)/采樣器/正負(fù)離子粒子計(jì)/粉塵顆粒/氣溶膠空氣質(zhì)量風(fēng)速風(fēng)向風(fēng)量噪音、聲級、照度、氣象

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備: 純水機(jī) 凍干機(jī) 玻璃儀器采樣系列實(shí)驗(yàn)室瓜子去殼機(jī) PCR、酶標(biāo)儀、細(xì)胞分析水浴、恒溫、制冷、純水機(jī) 移液、分液、稀釋、電化學(xué) 樣品前處理、工作站天平、衡器、自動(dòng)稱重在線傳感器恒溫加熱干燥培養(yǎng)箱危險(xiǎn)物質(zhì)凈化臺氮吹儀/洗板機(jī) 轉(zhuǎn)棒測試儀動(dòng)物檢測儀器菌落計(jì)數(shù)器生物反應(yīng)器發(fā)酵罐反應(yīng)釜混合粉碎均質(zhì)乳化分散研磨

分析儀器: 結(jié)晶分析儀流動(dòng)分析儀/流動(dòng)注射分析儀水分測定儀膠粘及復(fù)合材料分析儀分散體系分析儀穩(wěn)定性分析儀分離性質(zhì)分析儀實(shí)驗(yàn)室SAXS系統(tǒng) 閃電和燃燒點(diǎn)測試儀燃燒試驗(yàn)箱氧指數(shù)測定儀煙密度測試儀逸出氣聯(lián)用分析系統(tǒng) 介電常數(shù)測定儀炭黑含量測試儀熱分析儀材料甲醛分析儀 X射線儀器電化學(xué)分析儀色譜、質(zhì)譜、光譜、波譜元素分析儀粒度儀粉體設(shè)備

光學(xué)儀器: 成像設(shè)備小動(dòng)物活體成像白度計(jì)、光澤度、夜視儀顯微鏡系列應(yīng)力儀、錐入度儀、振動(dòng)篩色度儀、濁度儀折光儀、旋光儀、光度儀密度滴點(diǎn)熔點(diǎn)熱值

輻射放射性檢測儀

物理特性儀器: 粉體流動(dòng)測定儀雜質(zhì)度檢測儀電火花檢測儀試驗(yàn)機(jī) 測厚儀無損檢測儀磁學(xué)測量儀流變儀/粘度儀

生態(tài)環(huán)境、土壤、食品: 食品農(nóng)產(chǎn)品安全土壤科學(xué)測量植物生理生態(tài)儀器

測量/計(jì)量儀器: 耗材全自動(dòng)二次元測量儀線寬線徑測量儀激光干涉儀視覺檢測儀水滴/液滴分析儀晶圓厚度測量儀芯片應(yīng)力測試儀薄膜應(yīng)力翹曲度儀輪廓測試儀聲速儀地面滑度摩擦測試儀千分尺光纖認(rèn)證測試儀激光測距儀 UV能量測試儀電梯限速器測試儀密度儀張力儀轉(zhuǎn)速、振動(dòng)、頻閃儀表界面物性測試

電子、電力儀表: I-V曲線/光伏電池專用數(shù)字多用表多功能電氣安全檢測儀

厚度與表面測量儀器: 比表面及孔徑分析儀吸附儀接觸角/表面張力儀泡沫分析儀焊接壓力測試儀腳踏力手剎力測試儀硬度計(jì)/扭力計(jì)/推拉力照度/透光率/白度/色差遮蓋率（反射率儀）

過程儀器儀表: 蝶閥/球閥工業(yè)泵系列流量、壓力、液位、溫度

管道及防腐層檢測: 多功能相關(guān)儀 LED紫外線燈 LED黑光燈工業(yè)內(nèi)窺鏡鐵素體檢測儀管線管網(wǎng)探測儀

勞保安防、救援勘探

工程檢測

傳感器系列: 氣體傳感器溫濕度傳感器/變送器

半導(dǎo)體行業(yè)儀器: PID（電位誘發(fā)衰減）測試儀

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產(chǎn)品簡介詳細(xì)介紹

CFD系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

CFD系列
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

高分辨率

最小流量達(dá)1mL/shot，為晶圓清洗過程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制，提供更高的準(zhǔn)確性。CFD系列能提供準(zhǔn)確流量，防止過量添加或液體浪費(fèi)。此外，防虹吸設(shè)計(jì)防止意外吸入。

耐腐蝕過流端

氟材質(zhì)口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導(dǎo)體加工所用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和雙氧水。針對化學(xué)腐蝕，PTFE / PFA / PP / PVC材質(zhì)外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護(hù)。

寬廣的吐出率調(diào)節(jié)

打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調(diào)節(jié)沖程長度 (出廠默認(rèn)設(shè)定是1.0ml/shot)。

配備泄漏傳感器

每臺泵都配有泄漏傳感器，可實(shí)時(shí)檢測任何泄漏情況。

規(guī)格

最大吐出量	1 mL/shot
最大吐出壓力	0.05 MPa
最大沖程率	30 spm
主要材質(zhì)	PTFE, PFA, PCTFE
液體輸送溫度范圍	20 ~ 60 °C



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