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S6300 勻膠機(jī)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用,程控操作。透明可視,而化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。并展現(xiàn)出非常高的性價(jià)比,可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng)。
SANNO 6300勻膠機(jī)特性優(yōu)點(diǎn):
● 可編程100組100步程序
● 400W伺服電機(jī),PLC控制
● 7"全彩觸摸屏,簡(jiǎn)單易用
● HDPE內(nèi)腔,SUS外殼,耐溶劑PC透明蓋
● 真空互鎖及蓋子開關(guān)互鎖安全功能
● 防堵膠功能設(shè)計(jì)
●
SANNO 6300 勻膠機(jī)詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | S6300 |
支持圓片/晶片尺寸 | 25px-300mm(12" 圓晶) |
速度可調(diào)范圍 | 0-5000rpm |
加速度可調(diào)范圍 | 100-10000rpm/s |
大單步旋涂時(shí)間 | 3000s |
時(shí)間分辨率 | 0.1s |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm |
電壓輸入 | AC100-230V,可切換中英文操作界面 |
外型尺寸 | 600*470*300mm |
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