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高精度薄膜制備與加工系統
PVD薄膜制備
薄膜磁控濺射系統
多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM
臺式精準氣氛\壓力控制高溫退火系統ANN
臺式高精度薄膜制備與加工系統
臺式二維材料等離子軟刻蝕系統
臺式高性能多功能PVD薄膜制備系列—na
臺式高性能CVD石墨烯/碳納米管快速制備
電弧等離子體沉積系統
脈沖激光沉積、分子束外延薄膜制備系統
薄膜真空沉積系統
納米膠體/納米顆粒制備儀
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