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目錄:中美合資合肥科晶材料技術有限公司>>薄膜制備全套設備>>雙靶磁控濺射儀>> VTC-600-2HD型雙靶磁控濺射儀

雙靶磁控濺射儀
  • 雙靶磁控濺射儀
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 VTC-600-2HD型
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 合肥市
屬性

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更新時間:2025-02-10 13:32:12瀏覽次數:3342評價

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產地類別 國產 價格區(qū)間 面議
應用領域 地礦,電子/電池
VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀是一款帶有兩個靶頭的磁控濺射鍍膜儀,其中一個靶頭采用直流(DC)濺射,可濺射金屬靶材制備金屬膜,另一個采用射頻(RF)濺射,可濺射金屬和氧化物靶材,制備金屬或氧化物膜.設備上安裝有薄膜測厚儀可以實時監(jiān)測薄膜的厚度。此設備可制作各種單層或多層薄膜,如鐵電、導電,合金,半導體,陶瓷,介電,光學,氧化物和PTFE薄膜等。而且設備體積較小操作方便,是一套理想的實驗工具。

技術參數

結構

輸入電源

  • 220VAC 50/60Hz, 單相

  • 2000W  (包括泵)

濺射電源

  • 安裝有兩個濺射電源

  • 直流(DC)電源:500W,針對于制作金屬膜

  • 射頻(RF)電源:600W,可制作氧化物和金屬膜

  • 同時可選配300W的射頻電源

磁控濺射頭

  • 儀器中安裝有2個磁控濺射頭,而且都帶有水冷夾層,可通入冷卻水對靶材降溫

  • 其中一個濺射頭與射頻電源相連接,主要是濺射絕緣性靶材

  • 另一個濺射頭與直流電源相連接,主要濺射導電性靶材

  • 靶材尺寸要求:金屬靶:直徑為50mm,zui大厚度1.5mm

  • 陶瓷靶:直徑為50mm,zui大厚度6mm

  • 儀器中標配一個不銹鋼靶和氧化鋁陶瓷靶

  • 濺射頭所需冷卻水:流速10ml/min(儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環(huán)水冷機)

VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀可以根據自己的要求選擇2個射頻濺射頭或3個射頻濺射頭,訂購前需于本公司銷售人員

真空腔體

  • 真空腔體:300 mm Dia x 300 mm h,采用不銹鋼制作

  • 觀察窗口:  100 mm diameter

  • 腔體打開方式采用上頂開,使得換靶更加容易

載樣臺

  • 載樣臺尺寸:140mm dia.(zui大可放置4"的基底)

  • 載樣臺可以旋轉,其速度為:1 - 20 rpm (可調)

  • 載樣臺zui高可加熱溫度為500℃,控溫精度為+/- 1.0 °C

氣體流量控制器

  • 儀器內部安裝有2個質量流量計

  • 量程為:0-200sccm

  • 氣體流量設置可以在6英寸的觸摸屏上進行操作

真空泵系統(tǒng)

配有一套分子泵系統(tǒng)(德國制作),采用一鍵式操作

薄膜測厚儀

  • 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上,可實時監(jiān)測薄膜的厚度,分辨率為0.10 Å  

  • LED顯示屏顯示,同時也輸入所制作薄膜的相關數據

外形尺寸

L1300mm× W660mm× H1200mm

重量

160 kg

質保期

一年質保期,終生維護

 

 

 

 

 

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