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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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閱讀：186 發(fā)布時間：2020/11/25
如何改善我們的旋轉(zhuǎn)涂層？
有三個建議可以幫助您改善旋涂技術(shù)和終涂層質(zhì)量。
01 嘗試動態(tài)分配
通過將化學(xué)物質(zhì)動態(tài)分配到旋轉(zhuǎn)的基材上，可提高涂層的質(zhì)量和可重復(fù)性。
02 使用注射器適配器
使用注射器適配器提高手動分配的準(zhǔn)確性。
03 準(zhǔn)確的將基材放在托盤上
偏心的基材會引起振動，影響涂層質(zhì)量，用晶圓對準(zhǔn)器以及用于方形和矩形基材的嵌入式托盤方案。
? 如何進行故障排除，優(yōu)化實驗過程？
01清潔基材
完整的清潔過程應(yīng)解決所有形式的污染。
02顆粒污染
我們的勻膠機旨在*地減少顆粒的產(chǎn)生。
03化學(xué)污染
殘留在晶圓上的化學(xué)污染會影響旋涂工藝，圖片顯示了由看不見的污染點產(chǎn)生的涂層中的空隙。
04排氣-旋涂
對于簡單的旋涂程序，排氣可將腔室內(nèi)的化學(xué)蒸汽帶走。我們的勻膠機有多種選配件，可滿足更苛刻的要求。
05排氣-蝕刻，顯影和清潔
在EDC系統(tǒng)進行水處理時，正確的排氣量更為重要。所有可能的輸入，化學(xué)試劑，去離子水，干燥氣體必須與足夠的廢氣保持平衡。這樣可防止在處理室中產(chǎn)生超壓環(huán)境，并迅速清除多余的水分。
06清潔您的勻膠機
如果希望獲得Z佳的旋涂效果，應(yīng)在每次操作結(jié)束時對勻膠機進行清潔。
