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杭州太昊科技有限公司
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當(dāng)前位置:杭州太昊科技有限公司>>INFICON膜厚控制系統(tǒng)>>膜厚控制儀>> XTC/3系列膜厚控制儀

膜厚控制儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號XTC/3系列

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地杭州市

更新時間:2025-03-31 20:01:15瀏覽次數(shù):6132次

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膜厚控制儀 INFICON, 薄膜鍍層控制技術(shù)的*者,現(xiàn)在為您提供高生產(chǎn)價值和低擁有成本的*儀器。
無論您需要控制產(chǎn)品的合格性,或是用于科研項目。INFICON XTC/3能*適應(yīng)您的要求。
*,實用的單層和多層鍍膜速率控制

膜厚控制儀

用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3裝備有ModelLock1技術(shù),提供可靠的模式跳躍防止功能,可達(dá)到始終如一的鍍膜質(zhì)量。使用XTC/3 薄膜鍍層控制儀,可高度準(zhǔn)確地控制鍍膜速率與膜層厚度,具有能控制幾乎任何膜層數(shù)量的能力。容易安裝和穩(wěn)定的可靠性,可確保高的生產(chǎn)率。

特 點

■有單膜層和多膜層型號

■ModelLock技術(shù)防止由于模式跳躍導(dǎo)致的膜厚誤差

■支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix?和雙探頭自動晶體切換,用于高生產(chǎn)率

■XTC/3M多膜層型號支持多至99個工藝過程,999個膜層,32個鍍層,2個

傳感器和兩個源

■XTC/3S單膜層型號支持多至9個鍍層,2個傳感器和兩個源

■易閱讀的TFT LCD圖形顯示器

■為便于檢索,可*的和描述性的薄膜與過程名稱

■有以太網(wǎng)連接軟件

■單獨運行(無需計算機)或用PC運行的Windows?軟件選件

■INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換見(限于XTC/2功能和指令組)


膜厚控制儀

技術(shù)規(guī)范

功能,參數(shù),或技術(shù)規(guī)范

XTC/3S單層膜

XTC/3M多層膜

測量分辨的頻率變化

+0.05Hz

+0.05Hz

測量區(qū)間

0.25秒

0.25秒

厚度和速率分辨/測量

0.06A,在工具/密度=100

0.06A,在工具/密度=100


基頻=6M Hz

基頻=6M Hz

支持XTAL2轉(zhuǎn)換

計算機通訊

RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件

RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件

大RS232波特率

115.2千波特

115.2千波特

繼電器數(shù)

12標(biāo)準(zhǔn), 無事例可

12標(biāo)準(zhǔn), 事例可

可編程繼電器功能數(shù)

1

1

每個繼電器功能

1

1

繼電器電壓額定值

30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流

30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流


42V峰,在2.5安

42V峰,在2.5安

輸入數(shù)

8TTL, 24伏直流大

8TTL, 24伏直流大

可編程輸入功能數(shù)

1, 無事例可

1, 事例

記入儀輸入數(shù)

1

1

手動電源/手持控制器

排風(fēng)扇

測試模式

擋光器延遲

次級工具

大允許相移頻率

1.0 M Hz

1.0 M Hz

機箱尺寸

1/2機架,2U高度

1/2機架,2U高度

速率和膜厚顯示分辨

0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從

100至999A/秒

0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從

100至999A/秒


顯示膜厚分辨=1A

顯示膜厚分辨=1A

通過輸入選擇鍍層

用戶指導(dǎo)語言

英文,中文

英文,中文

控制環(huán)

PID

PID

數(shù)據(jù)登錄

質(zhì)量和穩(wěn)定性功能

樣品和保持

坩堝選擇

坩堝反饋輸入

選擇控制電壓極性

是,+/-2.5,5,10伏

是,+/-2.5,5,10伏


15-位分辨率

15-位分辨率

程序鎖定碼

用戶標(biāo)簽過程/鍍層

XTC/2 RS232通訊兼容性

是(有限的)

是(有限的)




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