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微機電質量流量計是一種基于微機電系統(tǒng)（MEMS）技術的新型流量測量儀表，具有顯著的技術特點和優(yōu)勢。其主要特點包括高精度、寬量程比、抗干擾能力強、壓損小等。通過CMOS半導體工藝制成的微米級傳感器，結合熱擴散原理，該流量計能夠直接測量氣體質量流量，無需額外壓力或溫度補償，精度可達±0.15%，量程比超過100:1，適用于復雜工況下的穩(wěn)定測量。
其核心優(yōu)勢體現(xiàn)在三方面：一是測量可靠性高，傳感器內部無活動部件，避免了機械磨損導致的精度衰減，使用壽命顯著延長；二是響應速度快，采用數(shù)字化自適應信號處理技術，可實時捕捉微小流量變化，滿足動態(tài)工況需求；三是安裝維護便捷，模塊化設計支持法蘭、NPT等多種接口，支持RS485、4-20mA等數(shù)字/模擬信號輸出，兼容工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)。
該流量計的應用場景覆蓋多領域：在醫(yī)療領域，用于醫(yī)用氣體（氧氣、氮氣）的精準計量，保障呼吸機、麻醉機等設備的穩(wěn)定供氣；在半導體制造中，監(jiān)測擴散、氧化等工藝的氣體流量，確保晶圓加工的工藝一致性；在石油化工領域，針對天然氣、液化氣等易燃易爆介質，實現(xiàn)高精度貿易計量和過程控制；在實驗室環(huán)境中，為毛細管氣相色譜儀、光纖熔煉設備提供微小流量測量支持。其防爆認證（ExiaⅡCT4）和IP65防護等級進一步拓展了在危險環(huán)境下的應用范圍。
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