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超景深光學(xué)顯微鏡是一種結(jié)合高分辨率成像和擴(kuò)展景深的技術(shù)，能夠在單次成像中捕捉樣品不同深度的清晰圖像。
它的主要測(cè)量功能包括表面形貌分析、三維結(jié)構(gòu)重建、微米級(jí)尺寸測(cè)量、輪廓評(píng)估、微觀缺陷檢測(cè)以及動(dòng)態(tài)過(guò)程觀測(cè)。
例如，在材料科學(xué)中可用于檢測(cè)金屬或陶瓷表面的劃痕和紋理，在半導(dǎo)體行業(yè)能精確測(cè)量電路板的線寬和孔徑，在生物領(lǐng)域可重建細(xì)胞或組織的三維模型并量化體積參數(shù)。此外，它還能實(shí)時(shí)觀察材料在高溫或壓力下的形變過(guò)程，或檢測(cè)芯片制造中的微裂紋、氣泡等缺陷。
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