智能、易用、準(zhǔn)確 Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡

搭載自動(dòng)對(duì)焦和激光缺陷標(biāo)記的8/12吋晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡

為半導(dǎo)體制造、面板顯示以及光伏等工業(yè)領(lǐng)域提供多維度的自動(dòng)檢測(cè)方案

Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡在基于蔡司光學(xué)的基礎(chǔ)上，采用了模塊化的設(shè)計(jì)方式。通過(guò)電動(dòng)位移臺(tái)和各個(gè)功能模塊之間的相互配合，在實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓級(jí)樣品自動(dòng)上下料的同時(shí)，可在多個(gè)維度上對(duì)其進(jìn)行加工選擇和自動(dòng)檢測(cè)，從而高質(zhì)量的完成客戶(hù)的需求，并一鍵式自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告，實(shí)現(xiàn)整套工作流程的一致性朔源。

高效的工作模式

Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡提供多種電動(dòng)選件，通過(guò)硬件和軟件算法之間的相互配合，使得顯微鏡能夠在不同的工作模式下，高效地實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)樣品區(qū)域的大圖拼接、景深融合以及微區(qū)加工等操作，從而讓客戶(hù)在極短的時(shí)間內(nèi)完成對(duì)待測(cè)樣品多個(gè)維度下的檢測(cè)和加工。

景深融合

使用景深融合的技術(shù)，通過(guò)圖像處理的算法把待測(cè)樣品不同焦平面的圖像融合為單張全視野清晰圖像，從而直觀得獲取待測(cè)樣品的三維細(xì)節(jié)。除此之外，搭配AI算力模型，融合后的圖像可直接通過(guò)模型進(jìn)行目標(biāo)識(shí)別和分類(lèi)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)物的自動(dòng)分析，在提高整體的檢測(cè)效率和準(zhǔn)確性的同時(shí)，可以大幅減少人為操作所帶來(lái)的誤差。

大圖拼接

使用大圖拼接的技術(shù)，通過(guò)將多個(gè)相鄰視場(chǎng)的顯微圖像進(jìn)行無(wú)縫拼接為單張高分辨率的全景圖像，從而結(jié)合低倍導(dǎo)航圖與高倍率細(xì)節(jié)圖，在消除視野盲區(qū)的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)從宏觀到微觀的多層級(jí)研究。除此之外，拼接得到的大圖可以作為導(dǎo)航圖進(jìn)行區(qū)域選擇，通過(guò)搭配激光缺陷標(biāo)記模塊，可實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)樣品視野外區(qū)域的精確加工和激光修復(fù)，提升整個(gè)工作流程中的工作效率。

“交鑰匙”式晶圓檢查解決方案

Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡旨在為客戶(hù)提供簡(jiǎn)單易用的操作環(huán)境，通過(guò)集成符合人體工學(xué)的觀察目鏡、遠(yuǎn)程控制手柄和強(qiáng)大的操作軟件等配置，使得客戶(hù)在使用時(shí)無(wú)需自行開(kāi)發(fā)或整合所有模塊，就可以完成對(duì)整個(gè)晶圓級(jí)樣品的換樣、缺陷標(biāo)記、數(shù)據(jù)分析到輸出客戶(hù)體系報(bào)告的全流程任務(wù)，確保檢測(cè)結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)化與可重復(fù)性，以工程化的思維解決碎片化的需求，使整個(gè)工作流程無(wú)縫銜接，讓客戶(hù)聚集于業(yè)務(wù)決策而非技術(shù)細(xì)節(jié)。

實(shí)時(shí)測(cè)量，提供準(zhǔn)確數(shù)據(jù)

Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡可提供多種測(cè)量方案，通過(guò)搭配自動(dòng)對(duì)焦模組，可實(shí)時(shí)采集待測(cè)樣品多個(gè)維度下的信息。在實(shí)時(shí)對(duì)樣品表面進(jìn)行特征線性尺寸、角度、圓直徑、矩形邊測(cè)量等基礎(chǔ)測(cè)量的同時(shí)，基于嵌入式處理單元搭建模型環(huán)境，從而實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)本地實(shí)時(shí)處理和模型訓(xùn)練，避免數(shù)據(jù)傳輸或云端引入的延遲來(lái)進(jìn)行實(shí)時(shí)二維材料層數(shù)識(shí)別或者光學(xué)元器件的自動(dòng)分揀，最終根據(jù)客戶(hù)導(dǎo)入的報(bào)告體系，生成最終的檢測(cè)報(bào)告。

延續(xù)蔡司品質(zhì)，歷經(jīng)百年的光學(xué)質(zhì)量

整合ICCS光學(xué)優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)更好的光學(xué)成像效果 提供明場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、偏光以及熒光等多種方式來(lái)對(duì)樣品進(jìn)行觀察和檢測(cè)。

偏光（a）

偏光（b）

暗場(chǎng)

明場(chǎng)

熒光檢測(cè)（a）

熒光檢測(cè)（b）

DIC(a)

DIC(b)

豐富的物鏡選項(xiàng)

蔡司物鏡提供的光學(xué)性能，通過(guò)高分辨率圖像顯示微小特征結(jié)構(gòu)，無(wú)論是材料紋理還是結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，都能精準(zhǔn)呈現(xiàn)。 復(fù)消色差物鏡在消色差的同時(shí)，保證在400-700nm內(nèi)有更高透過(guò)率，并且通過(guò)更高的數(shù)值孔徑實(shí)現(xiàn)更高的空間分辨率，適合高精度量測(cè)任務(wù)。

智能快速的自動(dòng)對(duì)焦

Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡可配置自動(dòng)對(duì)焦模塊，通過(guò)660nm/780nm/808nm的反射 光源、Z軸位移臺(tái)和高幀率觀測(cè)相機(jī)之間的高度協(xié)同性，能夠快速根據(jù)軟件算法確定樣品的聚焦平面并保持持續(xù)的追焦?fàn)顟B(tài)。這不僅解決了手動(dòng)調(diào)焦的諸多問(wèn)題，更通過(guò)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)焦點(diǎn)的決策，為后續(xù)分析提供高質(zhì)量的輸入，推動(dòng)科研與工業(yè)檢測(cè)進(jìn)入全自動(dòng)高保真時(shí)代。

***支持所有Zeiss Axioscope系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡升級(jí)此配件

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智能高效的激光缺陷標(biāo)記

Miracle Inspection系列晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡可配置激光缺陷標(biāo)記模塊，通過(guò)配備450nm和532nm的雙激光組合，可以在顯微鏡的體系中將精準(zhǔn)檢測(cè)與物理標(biāo)識(shí)深度結(jié)合，構(gòu)建“發(fā)現(xiàn)-標(biāo)記-處理”的閉環(huán)質(zhì)檢體系，在完成多種亞微米級(jí)激光應(yīng)用的同時(shí)，通過(guò)數(shù)據(jù)-物理空間的雙向映射，為智能化制造提供可追溯的數(shù)字化孿生錨點(diǎn)。

導(dǎo)航圖預(yù)覽、圖紙對(duì)比、準(zhǔn)確定位

通過(guò)導(dǎo)航圖預(yù)覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu)，從而快速定位到感興 趣的區(qū)域。對(duì)于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測(cè)尤為重要，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時(shí)間。

基于軟件中高級(jí)圖像分析能力,能夠?qū)⒕A的實(shí)際圖像與設(shè)計(jì)圖紙進(jìn)行實(shí)時(shí)對(duì)比，方便操作人員快速且精確的識(shí)別出兩者的差異。還可以憑借“激光標(biāo)記”功能，將需要改善的位置直接標(biāo)記出來(lái)，為下一步優(yōu)化參數(shù)和制造工藝提高便利。

第三方兼容，實(shí)現(xiàn)晶圓自動(dòng)搬運(yùn)0

通過(guò)導(dǎo)航圖預(yù)覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu)，從而快速定位到感興趣的區(qū)域。對(duì)于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測(cè)尤為重要，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時(shí)間。

1.XY手動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

8吋晶圓XY手動(dòng)/電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)模組

XY運(yùn)動(dòng)軸精度：≤2 μm

行程：205 mm * 205 mm

XY運(yùn)動(dòng)軸帶離合器手柄，可快速移動(dòng)

2.Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)

Z軸同時(shí)配備電傳手輪和碼盤(pán)

Z軸微調(diào)精度：≤1 μm

行程：≥36 mm

3.物鏡模組

采用蔡司原裝的手動(dòng)/電動(dòng)物鏡切換裝置

蔡司EpiPlan消色差物鏡，EPN半復(fù)消色差物鏡以及EPA復(fù)消色差物鏡

4.光源模組

5W LED透射式光源

10W LED透射式光源

5.晶圓放置模組

兼容多尺寸晶圓的載物臺(tái)（可兼容4英寸，6英寸和8吋晶圓片）

保留透射光路，晶圓載物臺(tái)可拆卸，支持液晶面板的檢測(cè)功能

6.成像觀察模組

適配蔡司的Axiocam系列相機(jī)，海康威視系列相機(jī)

適配蔡司的目鏡（選配）

提供明場(chǎng)/暗場(chǎng)的觀察方式，可選配微分干涉，熒光和偏光的觀察方式

7.遠(yuǎn)程控制手柄

物鏡切換裝置按鈕

照明光光強(qiáng)控制按鈕，并且可以隨物鏡/觀察方式自動(dòng)調(diào)節(jié)當(dāng)前光強(qiáng)

反射照明和透射照明切換按鈕

電傳Z軸聚焦旋鈕，XY運(yùn)動(dòng)軸遙感

缺陷標(biāo)記和主動(dòng)對(duì)焦快速確定按鈕

8.主動(dòng)對(duì)焦模組

可兼容主動(dòng)對(duì)焦模組，實(shí)現(xiàn)50×物鏡下對(duì)被觀察的實(shí)時(shí)對(duì)焦功能

9.缺陷標(biāo)記模組

可兼容缺陷標(biāo)記模組，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品缺陷部分進(jìn)行實(shí)時(shí)標(biāo)記 晶圓搬運(yùn)模組

10.晶圓搬運(yùn)模組

可兼容晶圓搬運(yùn)模組，實(shí)現(xiàn)晶圓片的自動(dòng)上下料