burkert寶德8713型氣體質(zhì)量流量控制器20001625核心工作原理和結(jié)構(gòu)突破

8713型氣體質(zhì)量流量控制器*200SCCM,N?,鋁基座,G1/4寸,RS485

控制器| N2 | 20000sccm | 24v DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | RS485, RS422

輸入/輸出

輸入類型數(shù)字量

1四氯乙烯

輸出類型數(shù)字量

1

二進(jìn)制輸入1

默認(rèn)的

二進(jìn)制輸出1

默認(rèn)的

核心工作原理

熱式測(cè)量原理

毛細(xì)管結(jié)構(gòu)：氣體流經(jīng)加熱的毛細(xì)管，散熱速度與流速相關(guān)。

溫度反饋：上下游溫度傳感器檢測(cè)溫差，通過(guò)惠斯通電橋轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。

流量計(jì)算：根據(jù)熱傳導(dǎo)公式（King定律）計(jì)算質(zhì)量流量。

控制閉環(huán)

PID算法：根據(jù)設(shè)定流量與測(cè)量值的偏差，調(diào)整控制閥開度。

動(dòng)態(tài)響應(yīng)：實(shí)時(shí)調(diào)整確保流量穩(wěn)定性。

結(jié)構(gòu)突破與創(chuàng)新

傳感器微型化

MEMS技術(shù)：集成微加工傳感器，提高響應(yīng)速度（<5ms）。

低功耗：微型傳感器降低功耗（<1W）。

控制閥優(yōu)化

壓電閥：無(wú)磁滯、長(zhǎng)壽命（>10?次循環(huán)），適合小流量。

直通式設(shè)計(jì)：減少壓降，提高大流量效率。

多氣體兼容性

軟件校準(zhǔn)：通過(guò)算法補(bǔ)償不同氣體熱導(dǎo)率差異。

模塊化設(shè)計(jì)：更換傳感器模塊支持腐蝕性氣體。

數(shù)字通信集成

物聯(lián)網(wǎng)協(xié)議：內(nèi)置Modbus、EtherNet/IP接口，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控。

智能診斷：預(yù)測(cè)性維護(hù)功能（如傳感器壽命預(yù)警）。

耐腐蝕材料

陶瓷傳感器：耐受腐蝕性氣體（如Cl?、NH?）。

PEEK閥體：避免金屬污染，適用于超純工藝。

未來(lái)趨勢(shì)

智能化：AI算法優(yōu)化控制策略。

集成化：將MFC與壓力控制器、過(guò)濾器集成。

burkert寶德8713型氣體質(zhì)量流量控制器20001625核心工作原理和結(jié)構(gòu)突破