晶圓烘箱的應(yīng)用

來源：愛義信工業(yè)科技（上海）有限責(zé)任公司 2025年03月04日 09:03

晶圓烘箱用于晶圓、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

　　工作原理主要基于熱對流方式。在烘箱內(nèi)部，通過電熱器等產(chǎn)生熱風(fēng)，使熱風(fēng)循環(huán)流動，從而對待烘干的半導(dǎo)體材料進(jìn)行均勻地加熱和干燥。這種加熱方式特別適合處理較厚的半導(dǎo)體材料，并能達(dá)到較好的烘干效果。

　　晶圓烘箱通常具有多種特性，例如密封性能好、置物架設(shè)計方便、控溫靈敏準(zhǔn)確等。在半導(dǎo)體制造過程中起到了保證晶圓干燥度和表面純凈度的重要作用，是確保半導(dǎo)體器件質(zhì)量和可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。

　　本公司提供的晶圓烘箱采用導(dǎo)軌式智能AI溫度控制模塊，控溫精度0.1級，自動恒溫，智能PID演算，帶30段程序升溫，帶傳感器斷線警報，AT自整定，超溫控制，斷電記憶功能，控溫準(zhǔn)，穩(wěn)定性好。

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