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X射線(xiàn)熒光光譜儀(XRF)通過(guò)激發(fā)源(X射線(xiàn)管)產(chǎn)生入射X射線(xiàn)(一次X射線(xiàn))，這些入射X射線(xiàn)能夠激發(fā)被測(cè)樣品，產(chǎn)生X熒光(二次X射線(xiàn))。探測(cè)器隨后對(duì)產(chǎn)生的X熒光進(jìn)行檢測(cè)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)物質(zhì)的化學(xué)元素、物相、化學(xué)立體結(jié)構(gòu)、物證材料等進(jìn)行測(cè)試。此外，X射線(xiàn)熒光光譜分析技術(shù)不僅是一種快速、準(zhǔn)確而又經(jīng)濟(jì)的多元素分析方法，還被用于無(wú)損檢測(cè)產(chǎn)品和材料質(zhì)量，以及微電路的光刻檢驗(yàn)等。因此，X射線(xiàn)熒光光譜儀在冶金、地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、考古等諸多部門(mén)和領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用。
X射線(xiàn)熒光光譜儀基于X射線(xiàn)的原理工作。在這種儀器中，X射線(xiàn)管產(chǎn)生高能的X射線(xiàn)，經(jīng)過(guò)樣品時(shí)會(huì)被樣品中的原子吸收和散射，并重新發(fā)射出一系列的X射線(xiàn)熒光。這些熒光信號(hào)進(jìn)入探測(cè)器并被轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，從而得到元素的種類(lèi)和含量信息。
此外，X射線(xiàn)熒光光譜儀的測(cè)量線(xiàn)性誤差和測(cè)量重復(fù)性等指標(biāo)，以及不同元素具有波長(zhǎng)不同的特征X射線(xiàn)譜線(xiàn)的特性，使得該儀器能夠進(jìn)行定性和定量分析，進(jìn)一步擴(kuò)展了其應(yīng)用范圍和準(zhǔn)確性。由于其便攜性和現(xiàn)場(chǎng)分析能力，X射線(xiàn)熒光光譜儀也是野外現(xiàn)場(chǎng)分析和過(guò)程控制分析等方面的儀器之一。
X射線(xiàn)管是X射線(xiàn)熒光光譜儀的核心部件，它能夠產(chǎn)生高能量的X射線(xiàn)。樣品支架則是將樣品放置在固定位置，確保X射線(xiàn)的照射位置和角度都是一致的。熒光探測(cè)器則是用來(lái)測(cè)量熒光輻射的強(qiáng)度和能量的，通常采用固態(tài)半導(dǎo)體探測(cè)器。信號(hào)處理器用來(lái)對(duì)測(cè)量到的信號(hào)進(jìn)行分析和處理，以獲取所需的數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)處理器則將處理后的數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步分析和解釋。
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