真空脫脂燒結(jié)爐的操作規(guī)程與注意事項(xiàng)

來源：上海鉅晶精密儀器制造有限公司 2023年12月08日 10:13

　　真空脫脂燒結(jié)爐的操作規(guī)程和注意事項(xiàng)如下：

　　操作規(guī)程：

　　通電前檢查：確認(rèn)各開關(guān)是否放在關(guān)位，將功率調(diào)節(jié)逆時(shí)針旋到頭。

　　通電后檢查：根據(jù)工藝要求的順序來啟動機(jī)械泵、擴(kuò)散泵。

　　抽真空：緊閉所有的真空閥門，啟動機(jī)械泵，待其運(yùn)轉(zhuǎn)正常后，打開通向爐體的低真空閥，預(yù)先對爐體抽氣，此閥打開時(shí)應(yīng)緩慢，以免機(jī)械泵排氣口處有油噴出。

　　打開真空閥：爐體抽真空的同時(shí)，打開真空閥，對擴(kuò)散泵抽氣，當(dāng)真空度達(dá)到15Pa后，先開啟擴(kuò)散泵上的冷卻水，然后對擴(kuò)散泵加熱。

　　加熱：當(dāng)爐內(nèi)溫度升至所需的燒結(jié)溫度時(shí)，要密切關(guān)注爐內(nèi)溫度和氣壓的變化，以及冷卻水的流量。

　　燒結(jié)過程完成后關(guān)閉加熱系統(tǒng)，讓爐體自然冷卻到室溫。當(dāng)爐內(nèi)氣壓達(dá)到常壓時(shí)，可以打開爐門，取出燒結(jié)好的樣品。

　　注意事項(xiàng)：

　　操作前檢查設(shè)備各部件是否完好無損，電器線路是否安全可靠。

　　檢查真空爐體內(nèi)的冷卻水路是否暢通，水壓是否正常。

　　檢查真空系統(tǒng)是否正常，包括真空泵、真空測量儀器等。

　　在燒結(jié)過程中要密切關(guān)注爐內(nèi)溫度和氣壓的變化以及冷卻水的流量。

　　根據(jù)需要可以在氣氛控制系統(tǒng)中通入適量的氣體，如氬氣、氮?dú)獾取?br />

　　操作完成后要將爐內(nèi)氣壓抽到低于10-3Torr，然后關(guān)閉爐門讓爐體自然冷卻到室溫。

　　在取出樣品時(shí)要小心操作避免損壞樣品。

　　在使用過程中要避免任何形式的金屬碎片或顆粒進(jìn)入爐膛，否則可能會損壞爐膛或污染樣品。

　　在使用過程中要確保所有設(shè)備都處于良好的工作狀態(tài)，如果發(fā)現(xiàn)任何異?；蚬收弦皶r(shí)停機(jī)檢查或?qū)で髮I(yè)人員的幫助。

　　在使用過程中要注意安全操作規(guī)程和注意事項(xiàng)，避免發(fā)生意外事故。

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