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納米壓痕測試儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲模量及損耗模量等特性?？蛇m用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等。
納米壓痕測試儀的測量原理：納米壓入測試通過計(jì)算機(jī)控制載荷連續(xù)變化，并在線監(jiān)測壓入深度。一個完整的壓痕過程包括兩個步驟，即所謂的加載過程與卸載過程。在加載過程中，給壓頭施加外載荷，使之壓入樣品表面，隨著載荷的增大，壓頭壓入樣品的深度也隨之增加，當(dāng)載荷達(dá)到*大值時，移除外載，樣品表面會存在殘留的壓痕痕跡。
該設(shè)備測試的特點(diǎn)：
（1）試樣制備簡單。測試一般對試樣表面粗糙度有特殊要求，對被測試樣的形狀尺寸并無特殊要求，壓入深度在微納米尺度，是一種*損測試方法。
（2）測量分辨力高。
（3）操作方便。利用載荷-深度曲線，可直接換算得到接觸面積，無需對殘余壓痕面積進(jìn)行測定。
（4）測試內(nèi)容豐富。
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