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日本歐姆龍：微米級(jí)精度控制，電子行業(yè)“芯”發(fā)展
歐姆龍激光隱切，即激光隱形切割，是目前主流的芯片切割技術(shù)。這種技術(shù)可以將小功率的激光聚焦在一個(gè)直徑僅有100多納米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后將晶圓切割開(kāi)，可有效能避免大功率激光對(duì)芯片造成的影響。
晶圓表面翹曲，切割精度難以保證
由于晶圓表面翹曲，切割晶圓時(shí)如果無(wú)法實(shí)時(shí)判別其高度，激光焦點(diǎn)便無(wú)法精確落在晶圓改質(zhì)層，導(dǎo)致切割精度下降。
解決方案
實(shí)時(shí)高度跟隨控制
切割晶圓時(shí)，通過(guò)位移傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量產(chǎn)品表面微小高度波動(dòng)，并實(shí)時(shí)補(bǔ)償?shù)郊す馄魉诘腪軸，確保激光焦點(diǎn)精確落在晶圓改質(zhì)層。
高速位置比較輸出控制
通過(guò)采集實(shí)時(shí)的編碼器反饋進(jìn)行位置比較，與激光器同步輸出信號(hào)進(jìn)行相位同步，在運(yùn)動(dòng)軌跡的所有階段以恒定的空間（而非時(shí)間）間隔采集高度數(shù)據(jù)，確保高度跟隨算法的精度保證。
由此，有效避免了激光在加速、減速和轉(zhuǎn)角段的過(guò)度加工等，使激光均勻地作用在被加工物體上。
PWM（脈沖寬度調(diào)制）控制技術(shù)
通過(guò)控制器直接產(chǎn)出開(kāi)關(guān)量信號(hào)，經(jīng)功率放大模塊后直接控制電機(jī)電流環(huán)。無(wú)模擬量干擾、無(wú)模擬量非線特性、無(wú)模擬量零漂，無(wú)驅(qū)動(dòng)器電流環(huán)延遲，使平臺(tái)運(yùn)動(dòng)更快，更直接，提升運(yùn)動(dòng)響應(yīng)性和穩(wěn)定精度。
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