手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
EVG 510-晶圓鍵合機是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可以處理從碎片到200 mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進行快速便捷的重新工具化，轉(zhuǎn)換時間不到5分鐘。
EVG 510-晶圓鍵合機特征：
1.壓力和溫度均勻性。
2.兼容EVG機械和光學對準器。
3.靈活的設計和配置，用于研究和試生產(chǎn)。
4.將單芯片形成晶圓。
5.各種工藝(共晶，焊料，TLP，直接鍵合)。
6.可選的渦輪泵(<1E-5 mbar)。
7.可升級用于陽極鍵合。
8.開室設計，易于轉(zhuǎn)換和維護。
9.生產(chǎn)兼容。
10.高通量，具有快速加熱和泵送規(guī)格。
11.通過自動楔形補償實現(xiàn)高產(chǎn)量。
12.開室設計，可快速轉(zhuǎn)換和維護。
13.200 mm鍵合系統(tǒng)的小占地面積：0.8 m 2。
14.程序與EVG的大批量生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)兼容。
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權(quán)利。
采購中心