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壓電·六軸并聯(lián) Free6D.3-2.150.G2

? 多軸姿態(tài)同時調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高

• 由納米級驅(qū)動單元實現(xiàn)的六自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu)，有效降低累積誤差；

• 多軸姿態(tài)同時調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高；

• 平動行程：X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm；

• 角擺行程：ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °；

• 最小步伐：0.1 μm/5 μrad；

• 可提供真空環(huán)境規(guī)格；

• 控制器：根據(jù)用戶輸?的位移指令，實現(xiàn)對位移臺六軸空間姿態(tài)的運動調(diào)節(jié)

• 控制方式：各驅(qū)動單元模塊通過光柵位置反饋實現(xiàn)閉環(huán)控制；通過專用軟件，實現(xiàn)對六軸并聯(lián)運動的解算，分配到各驅(qū)動單元模塊，實現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時調(diào)節(jié)；

• 控制軟件：提供PC端使用軟件，支持labview，串口命令集控制

壓電六軸并聯(lián)位移臺，六自由度，兼容高真空——詳細(xì)參數(shù)：

壓電六軸并聯(lián)位移臺，六自由度，兼容高真空——尺寸圖：