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將電源控制器與分子泵一體化
省電設(shè)計(jì)
輕巧設(shè)計(jì)
對(duì)應(yīng)防護(hù)等級(jí)IP54
多種通信接口
對(duì)應(yīng)國(guó)際規(guī)格
CE/NRTL/SEMI-S2
繼承了TG-M的特點(diǎn)
用途
半導(dǎo)體制造設(shè)備
FPD制造設(shè)備
太陽(yáng)能電池制造設(shè)備
玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工
薄膜加工
加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備
OSAKA磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列使用磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無(wú)油的排氣，而且維護(hù)周期長(zhǎng)。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品。
TG-M系列產(chǎn)品型號(hào)：
TGkine1700M/TGkine2200M、TGkine3300M、TGkine3800M/TGkine4200M、耐反應(yīng)生成物 磁懸浮復(fù)合分子泵 TGkine-MI系列。
磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列產(chǎn)品特點(diǎn)：
■將電源控制器與分子泵一體化
■省電設(shè)計(jì)
■輕巧設(shè)計(jì)
■對(duì)應(yīng)防護(hù)等級(jí)IP54
■多種通信接口
■對(duì)應(yīng)國(guó)際規(guī)格
CE/NRTL/SEMI-S2
使用場(chǎng)合：
?半導(dǎo)體制造設(shè)備
?FPD制造設(shè)備
?太陽(yáng)能電池制造設(shè)備
?玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工
?薄膜加工
?加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備
技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | TGkine3300M | TGkine3300M-40 | TGkine3400M | |
| 吸氣口法蘭 | VG300 ISO-B320 | VG300 ISO-B320 | VG350 | |
| 排氣口法蘭 | KF40/KF50 | |||
| 排氣速度 | N2(L/s) | 3300 | ||
| N2(附帶金屬防護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 3100 | |||
| H2(L/s) | 2700 | |||
| 最大壓縮比 | N2 | >1×108 | ||
| H2 | 3×103 | |||
| 極限壓力 | VG?ISO-B(Pa) | <2×10-7 | ||
| VG?ISO-B(Torr) | <7.5×10-9 | |||
| 最大氣體流量 | N2 (sccm) | 2100 | 4000 | 2100 |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | (min) | ≦11 | ||
| 停止時(shí)間 | (min) | ≦13 | ||
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 170/1.28※1 | ||
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧2000 | ||
| 輸入電壓 | (V) | AC200-240V -15%+10% | ||
| 相數(shù) | 單相 | |||
| 頻率 | (Hz) | 50/60 | ||
| 電流 | (A) | Max. 5.3 | ||
| 所需電力 | (kVA) | Max. 0.9 | ||
| 通信接口 （規(guī)格可選） | Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet | |||
| 防護(hù)等級(jí) | IP54 | |||
| 安裝角度 | 任意 | |||
| 重量 | VG?ISO-B（kg） | 69 | ||
| 控制器型號(hào) | 控制器與分子泵一體型 | |||
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