高真空隔膜泵又稱控制泵，是上世紀七十年代在往復式活塞泵的基礎上，增加隔膜室演變而來的。是一種輸送機械，是目前國內的一種泵類。它與普通泵類不同的是，它是執(zhí)行器的主要類型，通過接受調制單元輸出的控制信號，借助動力操作去改變流體流量，常借助的動力有空氣，電動裝置，液體介質等。
原理氣動隔膜泵采用壓縮空氣為動力源，是一種由膜片往復變形造成容積變化的容積泵，其工作原理近似于柱塞泵。
氣動隔膜泵其有四種材質：工程塑料、鋁合金、鑄鐵、不銹鋼。氣動隔膜泵根據(jù)不同液體介質分別采用、氯丁橡膠、氟橡膠、聚四氟乙烯、聚四六乙烯。橡膠主要應用于石化及含油的液體，彈性壽命佳。溫度限制：-12.2℃to+82.2℃，+10°Fto+180°F。
氯丁橡膠廣泛使用于沒有腐蝕性的應用。具有壽命長及低成本的特性；溫度限制：-17.7℃to+93.3℃，0°Fto+200°F。
原理電動隔膜泵上的電機通過減速箱帶動左右兩端柱塞上面的隔膜一前一后往復運動。在左右兩個泵腔內，裝有上下四個單向球閥隔膜的運動，造成工作腔內的容積的改變，迫使四個單向球閥交替地開啟和關閉，從而將液體不斷地吸入和排出。
KNF實驗室高真空隔膜泵N920G特點：
清潔，無油運行
高抽速，尤其在低真空范圍下
調速控制
極其安靜
耐腐蝕
免維護
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