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V70四開口-PRECESS普瑞賽思傳輸閥
  • V70四開口-PRECESS普瑞賽思傳輸閥

貨物所在地:浙江杭州市

更新時間:2025-04-11 10:24:14

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PRECESS普瑞賽思傳輸閥(V70系列L型四開口)用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思傳輸閥(V70系列L型四開口

V70系列四開口傳輸閥適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD,通過單軸氣動執(zhí)行器實現(xiàn)閘門L形運動的技術(shù)。在L形運動中,閘門垂直移動到關(guān)閉位置,與閥體沒有任何接觸,在最后的運動中,它被水平推到閥座上,密封件以與連接的氣壓相關(guān)的固定力接觸閥座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產(chǎn)生,還最大限度地減少了密封磨損。


為了盡量減少顆粒的產(chǎn)生和活化,閘門配備了插入式O型圈密封,硫化密封是一種選擇。這是一種比標(biāo)準(zhǔn)O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案,盡管標(biāo)準(zhǔn)O型環(huán)密封也是可選的。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。


在電源故障的情況下,V70可以機(jī)械鎖定在關(guān)閉位置。


V70系列已經(jīng)安裝在各種半導(dǎo)體、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)過程中的數(shù)百個要求苛刻的應(yīng)用中,證明了其出色的可靠性。憑借堅固的設(shè)計以及減少和易于維護(hù),V70系列在各個方面都令人信服。


V70四開傳輸閥始終根據(jù)客戶規(guī)格量身定制。然而,預(yù)定義了四種基本設(shè)計類型:兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型和兩種具有內(nèi)腔或外腔閥座的插入式閥門類型。


閥體材料選項包括鋁、硬質(zhì)陽極氧化、鍍鎳或不銹鋼。閘門和閥蓋密封采用FKMFFKM。其他密封材料可應(yīng)要求提供。


l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用(半E21-94E24-92E21.1-1296

l低振動。獲得認(rèn)證的L形運動連桿和執(zhí)行器中無彈簧的雙換檔可實現(xiàn)更快的速度

l更平穩(wěn)的氣動執(zhí)行器

l機(jī)械鎖處于關(guān)閉位置


優(yōu)點:

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定器,以防止拆卸時螺栓脫落


應(yīng)用

l半導(dǎo)體加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽能電池板的制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群真空系統(tǒng)


PRECESS普瑞賽思傳輸閥(V70系列L型四開口

技術(shù)參數(shù)

尺寸


46 x 236 mm, 50 x 336 mm

執(zhí)行器

氣動

雙作用位置指示器

閥體材質(zhì)


鋁或不銹鋼

進(jìn)料


波紋管

泄漏率

閥體

< 1 × 10-9 mbar l/s

閥座

< 1 × 10-9 mbar l/s

硬質(zhì)陽極氧化

< 1 × 10-6 mbar l/s

壓力范圍


1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs)

壓差

On the Gate

≤ 1.2bar

At opening

< 30mbar

循環(huán)至first使用


≥300萬

溫度

閥體

≤ 120 °C

閥門

≤ 120 °C

材質(zhì)

閥體、板

EN AW-6061 (3.3211)

AlSI 304 (1.4301)

波紋管

AISI 633(AM350)

密封

閥帽

FKM(Viton®)或應(yīng)要求

閥門

FKM(Viton®)或應(yīng)要求

安裝位置


執(zhí)行器上方或

電磁閥


24 VDC,2.5 W(其他應(yīng)要求)

位置指示器


觸點額定電壓≤50 VDC

電流

0-80 mA

功率

≤ 10 W

連接器

9針微型D

壓縮空氣連接


快速連接器O.D. 6 mm



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