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ESA70W ESA100W EBARA ESA系列真空干泵
  • ESA70W ESA100W EBARA ESA系列真空干泵

貨物所在地:浙江杭州市

更新時間:2024-10-23 11:27:35

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EBARA ESA系列真空干泵抽速達1400L/min~10,000L/min,適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣,以及20,000L/min~80,000L/min排氣量的機型,適合大型腔室高速排氣;采用緊湊化設(shè)計,可以選擇耐腐蝕性材料選配件,是MOCVD等大流量輕質(zhì)氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點,還可選擇有機溶劑排氣用選配件。

EBARA  ESA系列真空干泵

EBARA ESA系列真空干泵


EBARA ESA系列真空干泵抽速達1400L/min~10,000L/min,適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣,以及20,000L/min~80,000L/min排氣量的機型,適合大型腔室高速排氣;采用緊湊化設(shè)計,可以選擇耐腐蝕性材料選配件,是MO-CVD等大流量輕質(zhì)氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點,還可選擇有機溶劑排氣用選配件,是LCD濺鍍裝置、真空干燥工藝和大型預(yù)真空的zuijia選擇。EBRA真空泵先進的控制和監(jiān)測在半導(dǎo)體等要求苛刻的需求中得到長時間驗證。


技術(shù)特點:

l                      滿足大型真空腔室高速排氣要求

l                      低能耗、高抽速

l                      選配后可抽取有機氣體、腐蝕性氣體

l                      適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣

l       智能轉(zhuǎn)子 RPM 控制功能,可實現(xiàn)靈活的氣體通量

l                      認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn): CE、SEMI-S2/NRTL


典型應(yīng)用:

l                      LCD、FPD、OLED等行業(yè)

l                      高含量輕質(zhì)氣體的真空抽?。ㄈ鏗2)

l                      腐蝕性氣體的抽取

l                      PVD、MOCVD等工藝

l                      半導(dǎo)體、光伏制程


技術(shù)參數(shù):

EBARA ESA系列真空干泵

設(shè)備名稱

單位

ESA15-D

ESA25-D

ESA25XW

ESA70W(-D)

ESA70WN(-D)


排氣速度

L/min

1,400 (50Hz)

2,500 (50Hz)

5,000 (50Hz)

7,000 (50Hz)

7,000 (50Hz)


1,700 (60Hz)

3,000 (60Hz)

6,000 (60Hz)

8,400 (60Hz)

8,400 (60Hz)


極限壓力

Pa

400 (50Hz)

5.3 (50Hz)

5.3 (50Hz)

0.27 (50Hz)

0.4 (50Hz)


270 (60Hz)

4.0 (60Hz)

4.0 (60Hz)

0.13 (60Hz)

0.27 (60Hz)


連接口徑

吸氣口

 

NW40

NW50

ISO80

NW50

NW50


排氣口

 

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40


極限壓力時功率概值

kW

2.9 (50Hz)

2.6 (50Hz)

5.2 (50Hz)

3.6 (50Hz)

3.6 (50Hz)


3.2 (60Hz)

2.9 (60Hz)

5.8 (60Hz)

4.0 (60Hz)

4.0 (60Hz)


冷卻水

流量

L/min

3.5~8

3.5~8

7~16

3.5~8

3.5~8


溫度

Max. 30

Max. 30

Max. 30

Max. 30

Max. 30


N2

流量

Pa•m3/s

14~17 (4.6)

17~20 (3.8)

34~40

24~27 (4.7)

24~27 (4.7)


電源 相/電壓/頻率

200V機型

 

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz


三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz


400V機型

 

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz


三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz


460V機型

 

 

 

 

 

 



電源容量

kVA

6.4

6.4

12.8

10.3

10.3


質(zhì)量概值

kg

240

240

480

380

380



設(shè)備名稱

單位

ESA80W-HDF

ESA80WN-HDF

ESA100W

ESA100WN


排氣速度

L/min

8,400 (50Hz/60Hz)

8,400 (50Hz/60Hz)

10,000 (50Hz/60Hz)

10,000 (50Hz/60Hz)



極限壓力

Pa

0.13

0.27

0.13

0.27



連接口徑

吸氣口

 

NW50

NW50

NW50

NW50


排氣口

 

NW40

NW40

NW40

NW40


極限壓力時功率概值

kW

4.2

4.2

4.9

4.9



冷卻水

流量

L/min

3.5~8

3.5~8

3.5~8

3.5~8


溫度

Max. 30

Max. 30

Max. 30

Max. 30


N2

流量

Pa•m3/s

54~57

54~57

54~57

54~45


電源 相/電壓/頻率

200V機型

 

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz


三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz


400V機型

 

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz


三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz


460V機型

 

 

 

 

 



電源容量

kVA

12.6

12.6

12.6

12.6


質(zhì)量概值

kg

400

400

400

400



設(shè)備名稱

單位

ESA200W

ESA300W

ESA500W

ESA700W


排氣速度

L/min

20,000 (50Hz/60Hz)

28,000 (50Hz)

47,000 (50Hz)

80,000 (50Hz/60Hz)


30,000 (60Hz)

50,000 (60Hz)


極限壓力

Pa

0.53

0.53

0.53

0.5



連接口徑

吸氣口

 

NW80

ISO100

ISO160

ISO160


排氣口

 

NW40

NW40

NW40

NW50


極限壓力時功率概值

kW

3.2 (50Hz)

6.6 (50Hz)

5.1 (50Hz)

7.4


3.4 (60Hz)

7.3 (60Hz)

6.7 (60Hz)


冷卻水

流量

L/min

3.5~8

6~9

6~9

6~9


溫度

Max. 30

Max. 30

Max. 30

Max. 30


N2

流量

Pa•m3/s

17~20 (3.8)

7.5~10.5

8.5~11

8.5~11


電源 相/電壓/頻率

200V機型

 

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz


三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz


400V機型

 

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

-


三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz


460V機型

 

 

三相/440V/50Hz

三相/440V/50Hz

三相/440V/50Hz


三相/440-480V/60Hz

三相/440-480V/60Hz

三相/440-480V/60Hz


電源容量

kVA

12

23.7

41.3

46.5


質(zhì)量概值

kg

410

700

750

1200


































































































杭州域勢科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案,公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌,結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案,旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進度。






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