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貨物所在地:浙江杭州市
更新時(shí)間:2024-08-21 17:13:59
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INFICON英???/span>光學(xué)等離子體真空計(jì)
INFICON Augent® 光學(xué)等離子體真空計(jì)是一種緊湊、智能的真空監(jiān)測(cè)解決方案。Augent將兩種傳感器技術(shù)結(jié)合到一個(gè)緊湊的設(shè)備中,用于監(jiān)測(cè)1 x 10-7至5 mbar的氣體類型,并同時(shí)測(cè)量從1 x 10-7 mbar到大氣的總壓力。
Augent由一個(gè)集成的皮拉尼傳感器保護(hù),用于關(guān)閉20mbar以上的等離子體??焖俟鈱W(xué)測(cè)量原理原則上允許檢測(cè)任何類型的氣體。
優(yōu)勢(shì)
l 高速檢漏,可進(jìn)行腔體檢漏
l 提高生產(chǎn)率和產(chǎn)量
l 壽命長,不燒絲,有氣涌保護(hù)
l 可承受工藝化學(xué)反應(yīng)
l 智能算法,易于集成
l 設(shè)計(jì)緊湊,占地面積小
l 可靠、快速啟動(dòng)
典型應(yīng)用
l 腔體泄漏檢查,更快的RoR(上升率)測(cè)試
l 泄漏檢查,發(fā)現(xiàn)氣體供應(yīng)管道的內(nèi)部泄漏
l 實(shí)時(shí)終端控制
l 氣體類型和濃度控制
INFICON英???/span>光學(xué)等離子體真空計(jì)
規(guī)格
測(cè)量范圍 N2 | 毫巴 托 | 1×10-7 … 5 (7.6×10-8 … 3.8) |
精度 總壓力讀數(shù) N2 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 讀數(shù)百分比 | 30 |
100 ... 1000 毫巴 | 讀數(shù)百分比 | 50 |
N2 總壓力讀數(shù)的重復(fù)性 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 讀數(shù)百分比 | 5 |
溫度 | ||
運(yùn)行(環(huán)境) | °C | +5 … +50 |
存儲(chǔ) | °C | -20 … +70 |
帶電子裝置的法蘭處烘干 | °C | <80 |
法蘭處烘干(不含電子裝置) | °C | <120 |
電源電壓 | ||
壓力表 | 伏(直流) | +14.5 … +30 |
波紋 | 伏(p-p) | ≤1 |
耗電量 | W | ≤5 |
連接保險(xiǎn)絲 | AT | 1 |
暴露在真空中的材料 | ||
一般材料 | 一般材料 | Al2O3, 不銹鋼 1.4435 |
陽極 | 陽極 | 鉬 |
電離室 | 電離室 | 鈦,不銹鋼 1.4016 |
點(diǎn)火器 | 點(diǎn)火器 | 不銹鋼 1.4310 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)