• 在最佳 WD：

• 1 kV 時 0.7 nm

• 500 V (ICD) 時 1.0 nm

• 在重合點(diǎn)：

• 15 kV 時 0.6 nm

• 1 kV 時 1.2 nm

• 電子束電流范圍：在所有加速電壓下 0.8 pA 至 100 nA

• 加速電壓范圍：350 V – 30 kV

• 著陸能量范圍：20* eV – 30 keV

• 最大水平射野寬度：4 mm WD 時 2.3 mm

高性能 PFIB 色譜柱，具有的電感耦合等離子 (ICP) 源，支持四種離子種類，并具有快速切換能力

• 離子種類（初級離子束）：Xe、Ar、O、N

• 切換時間<10 分鐘，僅需軟件操作

• 離子束電流范圍：1.5 pA 至 2.5 μA

• 加速電壓范圍：500V – 30 kV

• 最大水平射野寬度：在等離子束重合點(diǎn)處為 0.9 mm

重合點(diǎn)時的氙離子束分辨率

• <使用統(tǒng)計方法在 30 kV 時為 20 nm

• 使用選擇性邊緣方法在 30 kV 時<10 nm

• 在分析 WD 時的 E 和 I 束重合點(diǎn) (4 mm SEM)

• 端口：21

• 內(nèi)部寬度：379 mm

• 集成式等離子清潔器

• Elstar 色譜柱鏡筒內(nèi) SE/BSE 探頭（TLD-SE、TLD-BSE）

• Elstar 色譜柱柱內(nèi) SE/BSE 探頭 (ICD)*

• Everhart-Thornley SE 檢測器 (ETD)

• 查看樣品/色譜柱的 IR 攝像機(jī)

• 用于二級離子 (SI) 和二級電子 (SE) 的高性能腔室內(nèi)電子和離子探頭 (ICE)

• 腔室內(nèi) Nav-Cam 樣品導(dǎo)航攝像機(jī)*

• 可伸縮、低電壓、高對比度、定向、固態(tài)反向散射電子探頭 (DBS)*

• 集成的等離子束電流測量

靈活的五軸電動載物臺：

• XY 范圍：110 mm

• Z 范圍：65 mm

• 旋轉(zhuǎn)：360°（無限）

• 傾斜范圍：-38° 至 +90°

• XY 重復(fù)性：3 μm

• 最大樣品高度：與共心點(diǎn)間距 85 mm

• 0° 傾斜時的最大樣品重量：5 kg（包括樣品架）

• 最大樣品尺寸：旋轉(zhuǎn)時 110 mm（也可以是更大的樣品，但旋轉(zhuǎn)有限）

• 計算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜

高精度五軸電動載物臺，配有壓電驅(qū)動的 XYR 軸

• XY 范圍：150 mm

• Z 范圍：10 mm

• 旋轉(zhuǎn)：360°（無限）

• 傾斜范圍：-38° 至 +60°

• XY 重復(fù)性：1 μm

• 最大樣品高度：與共心點(diǎn)間距 55 mm

• 0° 傾斜時的最大樣品重量：500 g（包括樣品架）

• 最大樣品尺寸：旋轉(zhuǎn)時 150 mm（也可以是更大的樣品，但旋轉(zhuǎn)有限）

• 計算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜