在工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室或特殊環(huán)境中,針對不常見氣體(如硅烷、磷化氫、六氟化硫等)的量程設(shè)置需要綜合考慮氣體的理化性質(zhì)、毒性、爆炸風(fēng)險、檢測目等
在設(shè)置量程前,需明確檢測目的:
1.安全監(jiān)測(防爆/防毒) → 關(guān)注爆炸下限(LEL)或職業(yè)接觸限值(OEL)。
2.過程控制(工業(yè)制程) → 關(guān)注工藝允許濃度范圍。
3.環(huán)境監(jiān)測(排放控制) → 關(guān)注環(huán)保法規(guī)限值。
4.實(shí)驗(yàn)室分析(高精度) → 關(guān)注檢出限(LOD)和定量限(LOQ)。
舉例子:具體的還要結(jié)合不同的工況去制定合適的量程
硅烷(SiH?) | 0-20 ppm(安全) | ||
磷化氫(PH?) | 0-10 ppm(毒性) | ||
六氟化硫(SF?) | 0-1000 ppm(泄漏) | ||
砷化氫(AsH?)0-1ppm(高毒) 適用氣體:可燃?xì)怏w(如硅烷、氫氣等)。 量程設(shè)置: 0-100% LEL(常規(guī)安全監(jiān)測)。 0-10% LEL(高靈敏度預(yù)警)。 超過100% LEL(需稀釋或使用NDIR/熱導(dǎo)檢測)。 (2)劇毒氣體(ppm/ppb級檢測)適用氣體:高毒性氣體(如砷化氫、光氣、氟氣等)。 量程設(shè)置: 職業(yè)健康標(biāo)準(zhǔn)(OEL):如TWA(8小時均值)、STEL(短時暴露限值)。 惰性/特殊氣體(體積濃度或高純度檢測) |
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