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2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀

具有高分辨率和效率的多功能光譜儀

隨著在半導體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術(shù)的發(fā)展，極紫外輻射（EUV、XUV）已成為一個重要的工業(yè)意義。這導致對高分辨率和靈敏的診斷和測量技術(shù)的需求。因此，我們構(gòu)建了一個模塊化的 XUV / EUV 和軟 X 射線光譜儀，可用于等離子體光譜學、源診斷和計量學。它te別適用于激光等離子體源（LPS）和高次諧波源（高次諧波產(chǎn)生high harmonic generation，HHG）。

該光譜儀設計靈活，適用于多種應用。對于廣泛的幾何形狀，可以獲得非常高的光譜分辨率。通常，分辨率僅受檢測器系統(tǒng)像素大小的限制（XUV CCD 為 13.5 µm）。光譜儀的所有部件都是 UHV 級的。

2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀

公司簡介

筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司成立于2014年，是一家被上海市評為高新技術(shù)企業(yè)和擁有“上海市專精特新企業(yè)稱號"的專業(yè)光學服務公司，業(yè)務涵蓋設備代理以及項目合作研發(fā)，公司位于大虹橋商務板塊，擁有接近2000m2的辦公區(qū)域，建有500平優(yōu)良的AOL(Advanced Optical Labs)光學實驗室，為國內(nèi)外客戶提供專業(yè)技術(shù)支持服務。公司主要經(jīng)營光學元件、激光光學測試設備、以及光學系統(tǒng)集成業(yè)務。十年來，依托專業(yè)、強大的技術(shù)支持，以及良好的商務支持團隊，筱曉的業(yè)務范圍逐年增長。目前業(yè)務覆蓋國內(nèi)外各*高校、*科研機構(gòu)及相關領域等諸多企事業(yè)單位。筱曉擁有一支核心的管理團隊以及專業(yè)的研發(fā)實驗室，奠定了我們在設備的拓展應用及自主研發(fā)領域堅實的基礎。

公司自成立以來，始終遵循行業(yè)、誠信發(fā)展、探索創(chuàng)新、務實致遠、以質(zhì)取勝的服務理念，并在產(chǎn)品開發(fā)和銷售中貫徹到底。公司自始至終秉承著國際標準的質(zhì)量安全保障。多年來，公司一直致力于光學設備的設計開發(fā)，以及知識產(chǎn)權(quán)的保護。我們將不斷完善管理機制和技術(shù)水平，為客戶提供更安全環(huán)保的產(chǎn)品以及更優(yōu)質(zhì)的服務。