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S—300-數(shù)字氣體流量計(jì)——S300
  • S—300-數(shù)字氣體流量計(jì)——S300

貨物所在地:山東青島市

更新時(shí)間:2024-11-25 21:00:07

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高性能MFC,為半導(dǎo)體行業(yè)量身打造

S300系列數(shù)高性能MFC,為半導(dǎo)體行業(yè)量身打造

S300系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器/流量字質(zhì)量流量控制器/流量計(jì):采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級(jí)先進(jìn)流量傳感器,結(jié)合精細(xì)拋光氣路結(jié)構(gòu)以及高精度數(shù)字控制電路和算法,實(shí)現(xiàn)高精度、低零漂、高重復(fù)性控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場(chǎng)顯示屏和地址編碼開(kāi)關(guān),多種通訊方式可選、可定制全金屬密封,wm適配半導(dǎo)體、真空鍍膜、光伏及其它各類應(yīng)用環(huán)境 。

簡(jiǎn)介

高性能MFC,為半導(dǎo)體行業(yè)量身打造

S300系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器/流量計(jì):采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級(jí)先進(jìn)流量傳感器,結(jié)合精細(xì)拋光氣路結(jié)構(gòu)以及高精度數(shù)字控制電路和算法,實(shí)現(xiàn)高精度、低零漂、高重復(fù)性控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場(chǎng)顯示屏和地址編碼開(kāi)關(guān),多種通訊方式可選、可定制全金屬密封, 適配半導(dǎo)體、真空鍍膜、光伏及其它各類應(yīng)用環(huán)境 。

主要優(yōu)勢(shì)

S1 物理功能模塊豐富

頂部配置有豐富的功能模塊:

* RJ45數(shù)字通信接口(可定制

 EtherCATRS485協(xié)議)

* 地址編碼開(kāi)關(guān)

* 現(xiàn)場(chǎng)顯示屏

* 狀態(tài)指示燈

此外,側(cè)面配置有M8航空供電接口,顯示直觀、操作簡(jiǎn)單,方便用戶進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)流量監(jiān)測(cè)和控制。


S2 快速響應(yīng)

1.5ms傳感器響應(yīng)時(shí)間,0.1~0.5s儀表系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間,及時(shí)捕捉微小流量變化。


S3 高精度

2.0%-100%F.S.全量程段保持高精度:

0.3%F.S.(30%F.S.)1.0%S.P.(30%F.S.)


S4 配備專用上位機(jī)

配備功能強(qiáng)大的SmartFlow上位機(jī)軟件,支持多臺(tái)聯(lián)動(dòng),方便進(jìn)行監(jiān)測(cè)和設(shè)備配置。


S5 認(rèn)證產(chǎn)品

通過(guò)TüV國(guó)際機(jī)構(gòu)CE&EMC認(rèn)證,或計(jì)量院一級(jí)校準(zhǔn)證書(shū)等,符合多項(xiàng)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。



*  除非另有說(shuō)明,本產(chǎn)品標(biāo)定于以下條件:氮?dú)?、溫?span style="font-family: Calibri;">25℃、2.5bar差壓(進(jìn)氣口3.5bar絕壓對(duì)出氣口1bar

  絕壓)、水平放置安裝。

*  建議在入口端安裝尺寸合適的直管段,否則可能會(huì)引起精度產(chǎn)生偏差。

*  建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭,以避免導(dǎo)致額外的壓損。

1  所示量程為氮?dú)饪蛇x量程。

2  %F.S.指誤差占滿量程的百分比。

3  %S.P.指誤差占設(shè)定值的百分比。

4  響應(yīng)時(shí)間指達(dá)到設(shè)定值±2%以內(nèi)所需要的時(shí)間。

5  工作壓力指進(jìn)氣口與出氣口(1bar絕壓)之間的差壓,更多細(xì)節(jié)請(qǐng)聯(lián)系我們。

尺寸及通信




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