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表面電阻測(cè)試儀測(cè)量半導(dǎo)體的電阻率
一,測(cè)試原理:
當(dāng)四根金屬探針排成一bai條直線,并以一定壓力壓在半導(dǎo)體材料上時(shí),在1,4兩根探針間通過(guò)電流I,則2,3探針間產(chǎn)生電位差V(如圖所示).
根據(jù)公式可計(jì)算出材料的電阻率:
其中,C為四探針的探針系數(shù)(cm),它的大小取決于四根探針的排列方法和針距.

表面電阻測(cè)試儀儀器操作:
(一)測(cè)試前的準(zhǔn)備:
1,將電源插頭插入儀器背面的電源插座,電源開(kāi)關(guān)置于斷開(kāi)位置;

2,工作方式開(kāi)關(guān)置于"短路"位置,電流開(kāi)關(guān)處于彈出位置;

3,將手動(dòng)測(cè)試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好;

4,對(duì)測(cè)試樣品進(jìn)行一定的處理(如噴沙,清潔等);

5,調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度及濕度使之達(dá)到測(cè)試要求.
(二)測(cè)試:
首先將電源開(kāi)關(guān)置于開(kāi)啟位置,測(cè)量選擇開(kāi)關(guān)置于"短路",出現(xiàn)數(shù)字顯示,通電預(yù)熱半小時(shí).
1,放好樣品,壓下探頭,將測(cè)量選擇開(kāi)關(guān)置于"測(cè)量"位置,極性開(kāi)關(guān)置于開(kāi)關(guān)上方;

2,壓下探頭時(shí),壓力要適中,以免損壞探針;

3,由于樣品表面電阻可能分布不均,測(cè)量時(shí)應(yīng)對(duì)一個(gè)樣品多測(cè)幾個(gè)點(diǎn),然后取平均值;

4,樣品的實(shí)際電阻率還與其厚度有關(guān),還需查附錄中的厚度修正系數(shù),進(jìn)行修正.
1. 在測(cè)容性負(fù)載阻值時(shí)，絕緣電阻測(cè)試儀輸出短路電流大小與測(cè)量數(shù)據(jù)有什么關(guān)系，為什么?
絕緣電阻測(cè)試儀輸出短路電流的大小可反映出該兆歐表內(nèi)部輸出高壓源內(nèi)阻的大小。當(dāng)被測(cè)試品存在電容量時(shí)，在測(cè)試過(guò)程的開(kāi)始階段，絕緣電阻測(cè)試儀內(nèi)的高壓源要通過(guò)其內(nèi)阻向該電容充電，并逐步將電壓充到絕緣電阻測(cè)試儀的輸出額定高壓值。顯然，如果試品的電容量值很大，或高壓源內(nèi)阻很大，這一充電過(guò)程的耗時(shí)就會(huì)加長(zhǎng)。其長(zhǎng)度可由R內(nèi)和C負(fù)載的乘積決定（單位為秒）。請(qǐng)注意，給電容充電的電流與被測(cè)試品絕緣電阻上流過(guò)的電流，在測(cè)試中是一起流入絕緣電阻測(cè)試儀內(nèi)的。絕緣電阻測(cè)試儀測(cè)得的電流不僅有絕緣電阻上的分量，也加入了電容充電電流分量，這時(shí)測(cè)得的阻值將偏小。