中圖儀器SJ6000機(jī)床精度激光干涉校準(zhǔn)儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，還可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能，減少維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間，為制造業(yè)提供了一種精密的測(cè)量檢測(cè)方式。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖

其中，線(xiàn)性鏡組為標(biāo)配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）SJ6000機(jī)床精度激光干涉校準(zhǔn)儀支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

測(cè)量軟件

（1）友好的人機(jī)界面；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線(xiàn)度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組

長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組

直線(xiàn)度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線(xiàn)度測(cè)量和垂直度測(cè)量

測(cè)量軟件

（1）友好的人機(jī)界面；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。