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島津等離子體光譜儀能夠通過高頻振蕩的線圈，使通入的氬氣電離，當(dāng)電子的密度達(dá)到一定量時(shí),立即產(chǎn)生等離子體火焰，火焰中心的溫度很高。將液態(tài)樣品通過進(jìn)樣系統(tǒng)引入ICP火焰，樣品中所含有的元素將被激發(fā)，發(fā)出特定的光譜線，將光譜線引入光譜室，經(jīng)光柵分光，將不同元素的光譜分開，通過光譜線強(qiáng)度的變化確定樣品中的元素含量。