我們的POLOS®單晶圓旋涂機有NPP或PTFE兩種材質。這些高質量的旋涂機專為MEMS，半導體，生命科學，PV，微流體等領域的研發(fā)和小批量生產而設計。適用于所有典型的旋轉工藝：清潔、漂洗/干燥、涂層、顯影、載玻片和蝕刻。

POLOS SPIN150i NPP

通過大型彩色觸摸屏進行簡單的分步配方編程

帶注射器支架的透明蓋子，用于中央分配

高加速度和高精度

手動化學品分配

產品編號41096

材料天然聚丙烯

基板尺寸?150 mm 或 4“ x 4" 方形基板

產品描述

      POLOS SPIN150i是一款多功能的高質量基材旋涂機，由PTFE或NPP制成。它專為研發(fā)和小批量生產而設計。用于手動或自動（可選）化學品分配的桌面版本。

適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI等工藝

規(guī)格：

高達 6“ （150 mm） 晶圓

高達 4“ x 4" （100 mm） 方形基板

材料：天然聚丙烯（NPP）

通過大型彩色觸摸屏進行簡單的分步配方編程

產品特點

1．電機勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩(wěn)壓電源供電，電樞用運放控制IRF830調速，它比可控硅調速*，故其轉速在500—8000轉/分范圍內非常穩(wěn)定。

2．本勻膠機有兩檔轉速。在啟動之后，先以低速運轉，然后自動變到高速運轉。兩檔速度及運行時間分別可調。

3．本勻膠機采用光電檢測，數字電路測速，對電機的轉速檢測快速準確。電機穩(wěn)速方面采用了光電隔離的精密負反饋電路，使整機在高達8000RPM以上轉速時仍十分穩(wěn)定，有力的保證了勻膠質量。

4．“吸片"采用電子開關控制電磁閥完成氣路通斷，這樣適合流水線工藝，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，提高效率。

5．勻膠機定時采用可調定時電路控制，面板上調節(jié)Timer旋鈕即可改變勻膠時間。

6．在安裝結構上，采取了減震措施，因而勻膠機在運轉時噪音很低。

7．電磁閥與電機運行有連鎖功能，電磁閥未動作不能啟動電機運行，本次勻膠電機未停不能進行下次勻膠，若運行中誤按“CONTROL"鍵也不能停止吸氣，即不會產生跑片。

由于采用了以上一系列措施，故本機具有很高的轉速穩(wěn)定性和快速啟動性，可以保證涂覆表面均勻，并可通過調節(jié)轉速調節(jié)涂覆厚度。

POLOS 300 高級單基板旋轉處理器，臺式機版本或集成商型號，自動化學品分配，重型電機。這種革命性的旋涂機系列可用作您工藝的全自動解決方案。由于采用天然聚丙烯和 PTFE 制成的全塑料外殼，它支持多種流體。它適用于處理小至 5 mm 的碎片，甚至適用于處理小至 5 mm 的碎片。

適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 和其他工藝

SPS(POLOS)旋涂機的工作原理