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?公司簡(jiǎn)介

 --Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國(guó)弗萊貝格工業(yè)大學(xué)。初致力于開(kāi)發(fā)一系列快速、無(wú)損的電氣特性測(cè)試工具，用于測(cè)量少數(shù)載流子壽命、光電導(dǎo)率和電阻率等參數(shù)。
 --2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產(chǎn)品經(jīng)驗(yàn)；2015年又整合了EFG的X射線衍射產(chǎn)品。
 --Freiberg Instruments是一家發(fā)展迅速，充滿活力，專業(yè)又具有創(chuàng)新的的分析儀器公司，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于劑量學(xué)、醫(yī)學(xué)研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學(xué)、光伏、發(fā)光年代測(cè)定和x射線衍射等領(lǐng)域。

?產(chǎn)品介紹 

 --德國(guó)Freiberg儀器的MDPspot（MDPspot臺(tái)式單點(diǎn)壽命檢測(cè)儀--少子壽命）是一臺(tái)低成本的臺(tái)式少子壽命測(cè)量系統(tǒng)，對(duì)不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行表征。沒(méi)有內(nèi)置自動(dòng)化?？蛇x配手動(dòng)z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。

 --MDPspot（MDPspot臺(tái)式單點(diǎn)壽命檢測(cè)儀--少子壽命）可配電阻率測(cè)試選項(xiàng)，常規(guī)僅適用于硅，也可用于沒(méi)有高度調(diào)整可能性的晶圓片以及晶錠，不過(guò)需對(duì)這兩個(gè)選項(xiàng)之一進(jìn)行預(yù)定義。 

 --MDPspot配備結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件。

?設(shè)備特性

 --無(wú)接觸和非破壞的電學(xué)參數(shù)測(cè)試；

 --對(duì)外延工藝監(jiān)控和不可見(jiàn)缺陷檢測(cè)，具有可視化測(cè)試的高分辨率；

 --對(duì)于不同級(jí)別晶圓片，提供不同的菜單選項(xiàng)。

?產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

 --用于不同制備階段，從成體到終器件，多晶硅或單晶硅單點(diǎn)測(cè)量載流子壽命的臺(tái)式裝置；

 --體積小，成本低，使用方便。擁有一個(gè)基本的軟件，結(jié)果可視化；

 --適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整；

?技術(shù)參數(shù)