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更新時(shí)間：2025-05-04 21:00:07
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多波長(zhǎng)橢偏儀（僅需25萬?。?/span>
AUTFS1橢偏儀是利用橢圓偏振的方法對(duì)樣品進(jìn)行光學(xué)表征。在該系統(tǒng)中由偏振態(tài)發(fā)生器（PSG）發(fā)射已知偏振態(tài)的光斜入射到樣品上，然后偏振態(tài)檢測(cè)器（PSD）檢測(cè)反射光的偏振狀態(tài)。如下圖所示
由樣品引起的發(fā)射光偏振態(tài)的變化可以由P偏振光和S偏振光的反射率的比值決定。比值為復(fù)數(shù)，如下圖所示： 其中tan（Y）定義了P偏振光和S偏振光反射率比值的大小，D定義了P偏振光和S偏振光的相位差。
由于該方法測(cè)量的是一個(gè)比值，因此對(duì)光的強(qiáng)度的變化，以及樣品缺陷造成的散射不敏感，并且在每個(gè)波長(zhǎng)測(cè)量?jī)蓚€(gè)參量可獲得兩個(gè)常量例如：薄膜厚度和折射率，此外D對(duì)薄膜厚度非常敏感，可以使薄膜厚度測(cè)量精度到0埃。
上海昊量光電推出的多波長(zhǎng)橢偏儀采用長(zhǎng)壽命的LED光源，可分別提供465nm、525nm、580nm和635nm四種不同波長(zhǎng)，并使用無移動(dòng)部件的橢圓偏振檢測(cè)器，緊湊的系統(tǒng)提供快速可靠的薄膜測(cè)量。
通過1秒的測(cè)量可以精確的測(cè)量0-1000nm的大多數(shù)透明薄膜的厚度。并可以獲得n和k等光學(xué)常量。
相比于單波長(zhǎng)橢偏儀，多波長(zhǎng)橢偏儀可測(cè)定薄膜厚度，對(duì)于透明薄膜測(cè)量厚度至少可達(dá)1μm，不存在厚度周期性問題；可確定樣品其它其它參數(shù)特性例如薄膜粗糙度、多層膜厚度等；對(duì)數(shù)據(jù)分析提供檢測(cè)依據(jù)，一個(gè)良好的分析模型應(yīng)該適用于不同波長(zhǎng)的數(shù)據(jù)；對(duì)于非常薄的薄膜（<20nm）多波長(zhǎng)橢偏儀提供的數(shù)據(jù)信息量可以與光譜橢偏儀相媲美。
應(yīng)用案例：
原位測(cè)量：
AUTFS-1 Mounted on Kurt Lesker ALD Chamber AUT FS-1 Mounted on AJA Sputter Chamber
選配件：
1、聚焦選項(xiàng)：將樣品上的光束縮小至0.8 x 1.9 mm 或0.3 x 0.7 mm
2、聚焦束檢驗(yàn)選項(xiàng)
3、自動(dòng)成像系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn)：
多波長(zhǎng)
橢偏檢測(cè)器中無移動(dòng)部件
優(yōu)異的測(cè)量精度（優(yōu)于0.001nm）
可原位測(cè)量
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
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