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　　1、日立掃描電鏡和透射電鏡的工作原理：

 

　　從相似點開始，這兩種設備都使用電子來獲取樣品的圖像。他們的主要組成部分是相同的：電子源、電磁和靜電透鏡控制電子束的形狀和軌跡、光闌。所有這些組件都存在于高真空中。

 

　　2、日立掃描電鏡和透射電鏡設備的不同點：

 

　　掃描電鏡使用—組特定的線圈以光柵樣式掃描樣品并收集散射的電子。

 

　　透射電鏡是使用透射電子，收集透過樣品的電子。因此，透射電鏡提供了樣品的內(nèi)部結構，如晶體結構，形態(tài)和應力狀態(tài)信息，而掃描電鏡則提供了樣品表面及其組成的信息。而且，這兩種設備明顯的差別之一是它們可以達到的最佳空間分辨率;掃描電鏡的分辨率被限制在～0.5nm，而隨著最近在球差校正透射電鏡中的發(fā)展，已經(jīng)報道了其空間分辨率甚至小于50pm。

 

　　3、掃描電鏡和透射電鏡和操作上的差異：

 

　　這兩種電子顯微鏡系統(tǒng)在操作方式上也有所不同。掃描電鏡通常使用15kV以上的加速電壓，而透射電鏡可以將其設置在60-300kV的范圍內(nèi)。與掃描電鏡相比，透射電鏡提供的放大倍數(shù)也相當高:透射電鏡可以將樣品放大5000萬倍以上，而對于掃描電鏡來說，限制在1-2百萬倍之間。然而，掃描電鏡可以實現(xiàn)的最大視場(FOV)遠大于透射電鏡，用戶可以只對樣品的一小部分進行成像。同樣，掃描電鏡系統(tǒng)的景深也遠高于透射電鏡系統(tǒng)。

 

　　掃描電鏡制樣對樣品的厚度沒有特殊要求，可以采用切、磨、拋光或解理等方法將特定剖面呈現(xiàn)出來，從而轉化為可以觀察的表面。這樣的表面如果直接觀察，看到的只有表面加工損傷，一般要利用不同的化學溶液進行擇優(yōu)腐蝕，才能產(chǎn)生有利于觀察的襯度。不過腐蝕會使樣品失去原結構的部分真實情況，同時引入部分人為的干擾，對樣品中厚度極小的薄層來說，造成的誤差更大。