原子力顯微鏡的分辨率在納米量級(jí)，比光學(xué)衍射極限高1000倍以上。信息是通過(guò)用機(jī)械探針“感覺(jué)”或“觸摸”表面來(lái)收集的。壓電元件有助于根據(jù)(電子)命令進(jìn)行微小但精確的移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確掃描?？梢詸z測(cè)很多樣品，提供表面研究和生產(chǎn)控制或流程發(fā)展的數(shù)據(jù)，這些都是常規(guī)掃描型表面粗糙度儀及電子顯微鏡所不能提供的。
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