美國(guó)萊特浩斯HPC1100高壓控制器優(yōu)點(diǎn)和應(yīng)用范圍 產(chǎn)品介紹：
HPC 1100 高壓控制器采用的新設(shè)計(jì)理念和技術(shù)，與萊特浩斯 0.1μm 的粒子計(jì)數(shù)器配合，監(jiān)測(cè)高壓環(huán)境（30 到 150PSI）下的惰性氣體系統(tǒng)的工業(yè)氣體污染。
應(yīng)用：
過(guò)程認(rèn)證
半導(dǎo)體工藝監(jiān)測(cè)
平板過(guò)程監(jiān)控
過(guò)程趨勢(shì)分析
優(yōu)點(diǎn)：
在正常操作期間零浪費(fèi)惰性氣體
輸出壓力接近大氣壓力
低噪聲
小尺寸
易于系統(tǒng)集成
支持0.1μm靈敏度、1立方英尺流量（28.3L/min)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器
可用于任何惰性氣體
容易設(shè)置
安裝簡(jiǎn)單
前裝式流量計(jì)
直觀的用戶控制
安靜的操作
快速吹掃和清理
內(nèi)部和外部VCR接頭
不銹鋼結(jié)構(gòu)
技術(shù)參數(shù)：
氣體粒徑范圍：0.1μm或更大的
流量范圍：1立方英尺(28.3L/min)
輸出壓力: 接近大氣壓
輸入壓力：30-150 psi
兼容的氣體：氮，氬，氦，CDA
運(yùn)行時(shí)的噪聲水平：< 60分貝
外殼：不銹鋼
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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