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篤摯儀器*的美國api激光干涉儀測量21中參數(shù)：包括線性定位誤差、直線度誤差、垂直度的偏擺角、俯仰角和滾動角。XD系列激光干涉儀約在2000年進入中國市場，是后來者，結合激光干涉技術和光電自準直技術：不僅可用于精度的zui終評價也可用于機床的安裝調整。

 

美國API激光干涉儀XD Laser儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。其中6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經過干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產生干涉條紋，經光學相位探測器識別后進行電子記數(shù)，記錄長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到zui小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設計的多重數(shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到zui小。 

 

美國API激光干涉儀XD Laser的特點：

¾ 一次安裝能測量6項精度指標
¾ 包括線性定位誤差、 XX及YY兩個方向直線度、
¾ 偏擺角、俯仰角、滾動角
¾ 把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
¾ 兩點調光線. 無需三腳架. 測量調整簡單快速
¾ 傳統(tǒng)激光干涉儀測量20項精度指標(三軸)，約需3天的時間； API干涉儀只約需半天!
¾ 測量直線度/小角度/垂直度/轉臺時, 不怕斷光, 可當自準直儀用, 用于機床裝配調試