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美國API*激光干涉儀

激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。

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美國API*激光干涉儀

美國API激光干涉儀技術(shù)綜述：

1D激光主要可以測量定位誤差

3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）

5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動角

主要特點

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設(shè)計用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器zui長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機(jī)床動態(tài)特性
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計緊湊、體積小，測量機(jī)床時不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間
7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機(jī)床動態(tài)特性等。
8、激光干涉儀的光源——激光，具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。
9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。
儀器介紹

5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品，一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差，包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時間進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成，實際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到zui小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設(shè)計的多重數(shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到zui小。