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DOE掩膜，可消除不需要的高衍射級(jí)次光學(xué)
DOE掩膜，衍射光學(xué)元件掩膜
DOE掩膜，主要用于精密的控制大功率激光的孔徑，它的結(jié)構(gòu)是在玻璃基板上鍍有一層很?。?span style=";padding: 0px">~1μm）的圖案反射涂層。
DOE掩膜的典型參數(shù)
衍射高級(jí)次消去膜通常分為兩種不同類型的掩膜
一種是電介質(zhì)反射掩膜
電介質(zhì)反射掩模，英文名為Dielectric Reflective Mask，是在熔融石英的基底上，鍍一層由非常?。?1um）的反射涂層圖案。涂層部分反射入射光束，而未涂層部分透射光束。
電介質(zhì)反射掩膜的特性：
針對(duì)單波長設(shè)計(jì)，高損傷閾值，低吸收率
反射部分，> 99％的高反射率
透明部分，> 95％的高透射率
很薄的掩膜層(~1um)
另一種是透射成像掩模
透射成像掩膜，英文名為Transmissive Imaging Mask，透射式掩模的特點(diǎn)是透射全部入射光，沒有任何阻擋，透射掩模使用衍射圖案以大角度漫射不需要的波段。
它的工作原理如下：
中心有一個(gè)和反射式掩膜類似的透明區(qū)域，光線直接透過，周圍區(qū)域具有衍射圖案，使不需要的入射光以大角度出射。配合聚焦鏡后焦平面放置的小孔，就可以阻擋大部分漫射光，從而達(dá)到阻擋多余激光的效果。
透射掩膜的特點(diǎn)：
不會(huì)有反射光的風(fēng)險(xiǎn)，導(dǎo)致?lián)p壞光學(xué)系統(tǒng)
~100％傳輸效率
比反射式掩模更高的激光損傷閾值
價(jià)格實(shí)惠
DOE掩膜的應(yīng)用領(lǐng)域：
縮減傳輸區(qū)域，設(shè)置一個(gè)很小的傳輸區(qū)域
控制激光衍射圖案的大小
DOE掩膜的型號(hào)規(guī)格：
DOE掩膜，衍射光學(xué)元件掩膜
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