美國BM的MEMS可變形反射鏡

MEMS（微機電系統(tǒng)）可變形鏡面技術(shù)MEMS可變形反射鏡

維爾克斯光電為用戶提供來自Boston Micromachines Corporation(BMC)的微機電可變形反射鏡和微機電分段變形鏡，類型主要分為低致動器數(shù)DM、中執(zhí)行器計數(shù)DM以及高執(zhí)行器數(shù)MEMS可變形反射鏡。

Multi-DM可變形鏡能夠?qū)崿F(xiàn)高達 5.5 μm 的行程、2 kHz 的幀速率、亞納米級步長且無滯后。以 X-Driver 的形式為 Multi-DM 系統(tǒng)提供高速電子升級。

    中執(zhí)行器數(shù)DM系統(tǒng)是高性能波前校正器，適用于天文學、激光通信和遠程成像等要求嚴苛的應用，提供三種類型：Kilo-DM、492-DM 和 648-DM。

Kilo-DM可變形鏡是用于精確、高速、高分辨率波前控制的使能組件。多達 1020 個執(zhí)行器控制在1納米以下的精度且無滯后，該系統(tǒng)非常適合要求嚴苛的應用。

作為流行的Kilo-DM可變形鏡的替代品，492-DM和 648-DM可以以更低的成本使用并產(chǎn)生效果。492-DM和648-DM系統(tǒng)分別將492和648執(zhí)行器的精度控制在1 nm以下且無滯后，是天文學和下一代成像應用的理想選擇。

Boston Micromachines的MEMS可變形反射鏡其中低制動器數(shù)MEMS反射鏡是用于高級波前控制的經(jīng)濟且通用的像差調(diào)制解決方案，具有高達140個精確控制的元件和低致動器間耦合，Multi-DM系統(tǒng)是包括顯微鏡、天文學、視網(wǎng)膜成像和激光束整形應用在內(nèi)的廣泛應用的理想選擇。這種DM可用于自適應光學或空間光調(diào)制器應用的連續(xù)和分段表面。

Boston Micromachines Corporation(BMC)是高執(zhí)行器數(shù)MEMS變形鏡技術(shù)的行業(yè)，這些反射鏡部署在世界各地著名的天文設(shè)施中，用以提高波前校正能力，其中4K-DM 安裝在雙子座行星成像儀器上2K-DM則包含在多個空間望遠鏡概念的設(shè)計中。

此外，2K-DM 被安裝為斯巴魯日冕儀自適應光學（SCExAO）儀器和麥哲倫望遠鏡 (MagAO-X) 的實驗性日冕自適應光學系統(tǒng)中的啟用組件。多年來，兩者都一直在空中觀測中持續(xù)運行。

MEMS可變形反射鏡反射鏡特點：

-大陣列產(chǎn)生高分辨率波前校正。

-*的微結(jié)構(gòu)允許對高空間頻率表面的相鄰執(zhí)行器之間的影響最小

-優(yōu)化設(shè)計可實現(xiàn)高速應用的快速波前整形

美國BM的MEMS可變形反射鏡